ویفرهای 6 اینچی 150 میلی‌متری سیلیکون کاربید SiC نوع 4H-N برای تحقیقات تولید MOS یا SBD و درجه ساختگی
فیلدهای کاربردی
بستر تک کریستال کاربید سیلیکون 6 اینچی نقش مهمی در صنایع مختلف دارد. اولاً، به طور گسترده در صنعت نیمه هادی برای ساخت دستگاه های الکترونیکی پرقدرت مانند ترانزیستورهای قدرت، مدارهای مجتمع و ماژول های قدرت استفاده می شود. رسانایی حرارتی بالا و مقاومت در برابر درجه حرارت بالا، اتلاف گرما را بهتر می کند و در نتیجه راندمان و قابلیت اطمینان را بهبود می بخشد. ثانیا، ویفرهای کاربید سیلیکون در زمینه های تحقیقاتی برای توسعه مواد و دستگاه های جدید ضروری هستند. علاوه بر این، ویفر کاربید سیلیکون کاربردهای گسترده ای در زمینه الکترونیک نوری، از جمله ساخت LED ها و دیودهای لیزری پیدا می کند.
مشخصات محصول
زیرلایه تک کریستال کاربید سیلیکون 6 اینچی دارای قطر 6 اینچ (تقریباً 152.4 میلی متر) است. زبری سطح Ra <0.5 نانومتر و ضخامت آن 25 ± 600 میکرومتر است. بستر را می توان با رسانایی نوع N یا P بر اساس نیاز مشتری سفارشی کرد. علاوه بر این، پایداری مکانیکی فوق‌العاده‌ای را نشان می‌دهد که قادر به تحمل فشار و لرزش است.
| قطر | 150±2.0 میلی متر (6 اینچ) | ||||
| ضخامت | 350μm±25μm | ||||
| جهت گیری | در محور: <0001>±0.5 درجه | خارج از محور: 4.0 درجه به سمت 0.5±1120 درجه | |||
| چند تایپ | 4H | ||||
| مقاومت (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | > 1E5 | ||||
| جهت گیری مسطح اولیه | {10-10}±5.0 درجه | ||||
| طول تخت اولیه (میلی متر) | 47.5 میلی متر ± 2.5 میلی متر | ||||
| لبه | چمفر | ||||
| TTV/Bow/Warp (اوم) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| جلو AFM (Si-face) | لهستانی Ra≤1 نانومتر | ||||
| CMP Ra≤0.5 نانومتر | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm*10mm) | ≤5μm (10mm*10mm) | ≤10μm (10mm*10mm) | ||
| تی تی وی | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| پوست پرتقال / حفره / ترک / آلودگی / لکه / مخطط | هیچ کدام | هیچ کدام | هیچ کدام | ||
| تورفتگی ها | هیچ کدام | هیچ کدام | هیچ کدام | ||
زیرلایه تک کریستال کاربید سیلیکون 6 اینچی یک ماده با کارایی بالا است که به طور گسترده در صنایع نیمه هادی، تحقیقاتی و اپتوالکترونیک استفاده می شود. این رسانایی حرارتی عالی، پایداری مکانیکی و مقاومت در برابر دمای بالا را ارائه می دهد و آن را برای ساخت دستگاه های الکترونیکی با قدرت بالا و تحقیقات مواد جدید مناسب می کند. ما مشخصات و گزینه های سفارشی سازی مختلفی را برای برآورده کردن خواسته های متنوع مشتری ارائه می دهیم.برای اطلاعات بیشتر در مورد ویفرهای کاربید سیلیکون با ما تماس بگیرید!
نمودار تفصیلی
