ویفرهای سیلیکون کاربید سیلیکون 6 اینچی 150 میلی‌متری نوع 4H-N برای تحقیقات تولید MOS یا SBD و گرید Dummy
زمینه‌های کاربردی
زیرلایه تک کریستالی ۶ اینچی کاربید سیلیکون نقش حیاتی در صنایع مختلف ایفا می‌کند. اولاً، این زیرلایه به طور گسترده در صنعت نیمه‌هادی برای ساخت دستگاه‌های الکترونیکی پرقدرت مانند ترانزیستورهای قدرت، مدارهای مجتمع و ماژول‌های قدرت استفاده می‌شود. رسانایی حرارتی بالا و مقاومت در برابر دمای بالا، اتلاف حرارت بهتری را ممکن می‌سازد و در نتیجه راندمان و قابلیت اطمینان را بهبود می‌بخشد. ثانیاً، ویفرهای کاربید سیلیکون در زمینه‌های تحقیقاتی برای توسعه مواد و دستگاه‌های جدید ضروری هستند. علاوه بر این، ویفر کاربید سیلیکون کاربردهای گسترده‌ای در زمینه الکترونیک نوری، از جمله ساخت LEDها و دیودهای لیزری، دارد.
مشخصات محصول
زیرلایه تک کریستالی کاربید سیلیکون ۶ اینچی قطری معادل ۶ اینچ (تقریباً ۱۵۲.۴ میلی‌متر) دارد. زبری سطح Ra < 0.5 نانومتر و ضخامت آن ۶۰۰ ± ۲۵ میکرومتر است. این زیرلایه را می‌توان بر اساس نیاز مشتری با رسانایی نوع N یا نوع P سفارشی‌سازی کرد. علاوه بر این، پایداری مکانیکی فوق‌العاده‌ای از خود نشان می‌دهد و قادر به تحمل فشار و ارتعاش است.
| قطر | ۱۵۰±۲.۰ میلی‌متر (۶ اینچ) | ||||
| ضخامت | ۳۵۰ میکرومتر ± ۲۵ میکرومتر | ||||
| جهت گیری | در محور: <0001> ±0.5° | محور خارج از محور: ۴.۰ درجه به سمت ۱۱۲۰±۰.۵ درجه | |||
| پلی‌تایپ | 4H | ||||
| مقاومت (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| جهت گیری مسطح اولیه | {10-10} ±5.0 درجه | ||||
| طول مسطح اولیه (میلی‌متر) | ۴۷.۵ میلی‌متر ± ۲.۵ میلی‌متر | ||||
| لبه | چمفر | ||||
| TTV/Bow/Warp (ام) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| جبهه AFM (Si-face) | لهستانی Ra≤1 نانومتر | ||||
| CMP Ra≤0.5 نانومتر | |||||
| LTV | ≤3μm (10mm * 10mm) | ≤5μm (10mm * 10mm) | ≤10μm (10mm * 10mm) | ||
| تی تی وی | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| پوست پرتقالی/چاله‌ها/ترک‌ها/آلودگی/لکه‌ها/خط و خش‌ها | هیچکدام | هیچکدام | هیچکدام | ||
| تورفتگی‌ها | هیچکدام | هیچکدام | هیچکدام | ||
زیرلایه تک کریستالی کاربید سیلیکون ۶ اینچی، ماده‌ای با کارایی بالا است که به طور گسترده در صنایع نیمه‌هادی، تحقیقات و اپتوالکترونیک مورد استفاده قرار می‌گیرد. این ماده رسانایی حرارتی عالی، پایداری مکانیکی و مقاومت در برابر دمای بالا را ارائه می‌دهد و آن را برای ساخت دستگاه‌های الکترونیکی پرقدرت و تحقیقات مواد جدید مناسب می‌سازد. ما مشخصات و گزینه‌های سفارشی‌سازی متنوعی را برای برآوردن خواسته‌های متنوع مشتریان ارائه می‌دهیم.برای اطلاعات بیشتر در مورد ویفرهای کاربید سیلیکون با ما تماس بگیرید!
نمودار تفصیلی
