ویفر 8 اینچی 200 میلی‌متری 4H-N SiC درجه تحقیق ساختگی رسانا

توضیحات کوتاه:

با تکامل بازارهای حمل و نقل، انرژی و صنعتی، تقاضا برای لوازم الکترونیکی قابل اعتماد و با کارایی بالا همچنان در حال رشد است. برای پاسخگویی به نیازهای بهبود عملکرد نیمه هادی، سازندگان دستگاه به دنبال مواد نیمه هادی با فاصله باند گسترده هستند، مانند نمونه کارها 4H SiC Prime Grade ما از ویفرهای سیلیکون کاربید (SiC) نوع 4H n.

برای ما ایمیل بفرستید

جزئیات محصول

برچسب های محصول

با توجه به خواص فیزیکی و الکترونیکی منحصر به فرد خود، مواد نیمه هادی سی سی سی سی سی سی سی سی 200 میلی متر به دلیل خواص فیزیکی و الکترونیکی منحصر به فرد خود برای ایجاد دستگاه های الکترونیکی با کارایی بالا، درجه حرارت بالا، مقاوم در برابر تشعشع و فرکانس بالا استفاده می شود. قیمت بستر 8 اینچی SiC به تدریج کاهش می یابد زیرا فناوری پیشرفته تر می شود و تقاضا رشد می کند. پیشرفت های اخیر فناوری منجر به تولید ویفرهای SiC 200 میلی متری در مقیاس تولید شده است. مزایای اصلی مواد نیمه هادی ویفر SiC در مقایسه با ویفرهای Si و GaAs: قدرت میدان الکتریکی 4H-SiC در هنگام شکست بهمن بیش از یک مرتبه بزرگتر از مقادیر مربوطه برای Si و GaAs است. این منجر به کاهش قابل توجه مقاومت در حالت Ron می شود. مقاومت کم در حالت، همراه با چگالی جریان بالا و هدایت حرارتی، امکان استفاده از قالب های بسیار کوچک را برای دستگاه های برق فراهم می کند. رسانایی حرارتی بالای SiC مقاومت حرارتی تراشه را کاهش می دهد. خواص الکترونیکی دستگاه های مبتنی بر ویفرهای SiC در طول زمان و در دمای پایدار بسیار پایدار است که اطمینان بالایی از محصولات را تضمین می کند. کاربید سیلیکون در برابر تشعشعات سخت بسیار مقاوم است که خواص الکترونیکی تراشه را کاهش نمی دهد. دمای کاری محدود کننده بالای کریستال (بیش از 6000 درجه سانتیگراد) به شما امکان می دهد دستگاه های بسیار قابل اعتمادی را برای شرایط سخت کاری و کاربردهای خاص ایجاد کنید. در حال حاضر، ما می‌توانیم ویفرهای کوچک 200mmSiC را به‌طور پیوسته و پیوسته عرضه کنیم و مقداری انبار در انبار داشته باشیم.

مشخصات

شماره	مورد	واحد	تولید	تحقیق کنید	ساختگی
1. پارامترها
1.1	چند نوع	--	4H	4H	4H
1.2	جهت گیری سطح	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2. پارامتر الکتریکی
2.1	ناخالص	--	نیتروژن نوع n	نیتروژن نوع n	نیتروژن نوع n
2.2	مقاومت	اهم · سانتی متر	0.015~0.025	0.01 ~ 0.03	NA
3. پارامتر مکانیکی
3.1	قطر	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	ضخامت	میکرومتر	25±500	25±500	25±500
3.3	جهت بریدگی	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	عمق بریدگی	mm	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5
3.5	LTV	میکرومتر	≤5 (10mm*10mm)	≤5 (10mm*10mm)	≤10 (10mm*10mm)
3.6	تی تی وی	میکرومتر	≤10	≤10	≤15
3.7	تعظیم	میکرومتر	-25 تا 25	-45 تا 45	-65 تا 65
3.8	پیچ و تاب	میکرومتر	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4. ساختار
4.1	چگالی میکرولوله	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	محتوای فلزی	اتم/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	تد	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5. کیفیت مثبت
5.1	جلو	--	Si	Si	Si
5.2	پرداخت سطح	--	سی فیس CMP	سی فیس CMP	سی فیس CMP
5.3	ذره	ea/ویفر	≤100 (اندازه≥0.3μm)	NA	NA
5.4	خراشیدن	ea/ویفر	≤5، طول کل ≤200 میلی متر	NA	NA
5.5	لبه تراشه / فرورفتگی / ترک / لکه / آلودگی	--	هیچ کدام	هیچ کدام	NA
5.6	نواحی پلی تایپ	--	هیچ کدام	مساحت ≤10%	مساحت ≤30%
5.7	علامت گذاری جلو	--	هیچ کدام	هیچ کدام	هیچ کدام
6. کیفیت پشت
6.1	پایان عقب	--	C-face MP	C-face MP	C-face MP
6.2	خراشیدن	mm	NA	NA	NA
6.3	عیوب پشت لبه تراشه / تورفتگی	--	هیچ کدام	هیچ کدام	NA
6.4	زبری پشت	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	علامت گذاری پشت	--	شکاف	شکاف	شکاف
7. لبه
7.1	لبه	--	چمفر	چمفر	چمفر
8. بسته
8.1	بسته بندی	--	آماده اپی با وکیوم بسته بندی	آماده اپی با وکیوم بسته بندی	آماده اپی با وکیوم بسته بندی
8.2	بسته بندی	--	چند ویفر بسته بندی کاست	چند ویفر بسته بندی کاست	چند ویفر بسته بندی کاست