دستگاه پرداخت پرتو یونی برای یاقوت کبود SiC Si

تصویر ویژه دستگاه پولیش پرتو یونی برای یاقوت کبود SiC Si

شرح مختصر:

دستگاه شکل‌دهی و پرداخت پرتو یونی بر اساس اصل ... عمل می‌کند.کندوپاش یونیدرون یک محفظه خلاء بالا، یک منبع یونی، پلاسما تولید می‌کند که به یک پرتو یونی پرانرژی شتاب داده می‌شود. این پرتو، سطح قطعه نوری را بمباران می‌کند و مواد را در مقیاس اتمی حذف می‌کند تا به اصلاح و پرداخت فوق‌العاده دقیق سطح دست یابد.

برای ما ایمیل ارسال کنید

ویژگی‌ها

نمودار تفصیلی

بررسی اجمالی محصول دستگاه پولیش پرتو یونی

دستگاه شکل‌دهی و پرداخت پرتو یونی بر اساس اصل کندوپاش یونی عمل می‌کند. درون یک محفظه خلاء بالا، یک منبع یونی پلاسما تولید می‌کند که به یک پرتو یونی پرانرژی شتاب داده می‌شود. این پرتو سطح قطعه نوری را بمباران می‌کند و مواد را در مقیاس اتمی حذف می‌کند تا به اصلاح و پرداخت فوق‌العاده دقیق سطح دست یابد.

به عنوان یک فرآیند غیر تماسی، پرداخت با پرتو یونی، تنش مکانیکی را از بین می‌برد و از آسیب زیرسطحی جلوگیری می‌کند، که آن را برای ساخت اپتیک‌های با دقت بالا که در نجوم، هوافضا، نیمه‌هادی‌ها و کاربردهای تحقیقاتی پیشرفته استفاده می‌شوند، ایده‌آل می‌کند.

اصول کار دستگاه پولیش پرتو یونی

تولید یون
گاز بی‌اثر (مثلاً آرگون) وارد محفظه خلاء می‌شود و از طریق تخلیه الکتریکی یونیزه شده و پلاسما تشکیل می‌دهد.

شتاب و تشکیل پرتو
یون‌ها تا چند صد یا هزار الکترون ولت (eV) شتاب داده می‌شوند و به یک نقطه پرتو متمرکز و پایدار تبدیل می‌شوند.

حذف مواد
پرتو یونی به صورت فیزیکی اتم‌ها را از سطح جدا می‌کند، بدون اینکه واکنش‌های شیمیایی را آغاز کند.

تشخیص خطا و برنامه‌ریزی مسیر
انحرافات شکل سطح با تداخل‌سنجی اندازه‌گیری می‌شوند. توابع حذف برای تعیین زمان‌های توقف و ایجاد مسیرهای ابزار بهینه اعمال می‌شوند.

اصلاح حلقه بسته
چرخه‌های تکراری پردازش و اندازه‌گیری تا رسیدن به اهداف دقیق RMS/PV ادامه می‌یابند.

ویژگی‌های کلیدی دستگاه پولیش پرتو یونی

سازگاری جهانی با سطوح– پردازش سطوح صاف، کروی، غیرکروی و سطوح آزاد

نرخ حذف فوق‌العاده پایدار- امکان اصلاح شکل زیر نانومتری را فراهم می‌کند

پردازش بدون آسیب- بدون نقص زیرسطحی یا تغییرات ساختاری

عملکرد پایدار– روی مواد با سختی متفاوت به خوبی کار می‌کند

اصلاح فرکانس پایین/متوسط– بدون ایجاد مصنوعات فرکانس متوسط/بالا، خطاها را حذف می‌کند

نیاز به نگهداری کم- کارکرد مداوم و طولانی مدت با حداقل زمان از کارافتادگی

مشخصات فنی اصلی دستگاه پولیش پرتو یونی

مورد	مشخصات
روش پردازش	کندوپاش یونی در محیط خلاء بالا
نوع پردازش	پرداخت و پولیش سطوح بدون تماس
حداکثر اندازه قطعه کار	Φ4000 میلی‌متر
محورهای حرکت	۳ محوره / ۵ محوره
پایداری حذف	۹۵٪≥
دقت سطح	PV < 10 نانومتر؛ RMS ≤ 0.5 نانومتر (RMS معمول < 1 نانومتر؛ PV < 15 نانومتر)
قابلیت اصلاح فرکانس	خطاهای فرکانس پایین تا متوسط را بدون ایجاد خطاهای فرکانس متوسط/بالا حذف می‌کند
عملیات مداوم	۳ تا ۵ هفته بدون نیاز به نگهداری در خلاء
هزینه نگهداری	کم

قابلیت‌های پردازش دستگاه پرداخت پرتو یونی

انواع سطوح پشتیبانی شده

ساده: تخت، کروی، منشوری

پیچیده: کره متقارن/نامتقارن، کره خارج از محور، استوانه‌ای

ویژه: اپتیک فوق نازک، اپتیک تخته‌ای، اپتیک نیم‌کروی، اپتیک همدیس، صفحات فازی، سطوح آزاد

مواد پشتیبانی شده

شیشه نوری: کوارتز، میکروکریستالی، K9 و غیره

مواد مادون قرمز: سیلیکون، ژرمانیوم و غیره

فلزات: آلومینیوم، فولاد ضد زنگ، آلیاژ تیتانیوم و غیره

کریستال‌ها: YAG، کاربید سیلیکون تک کریستالی و غیره

مواد سخت/شکننده: کاربید سیلیکون و غیره

کیفیت/دقت سطح

PV < 10 نانومتر

RMS ≤ 0.5 نانومتر

مطالعات موردی پردازش دستگاه پرداخت پرتو یونی

مورد ۱ – آینه تخت استاندارد

قطعه کار: کوارتز تخت D630 میلی‌متری

نتیجه: PV 46.4 نانومتر؛ RMS 4.63 نانومتر

مورد ۲ – آینه بازتابنده اشعه ایکس

قطعه کار: تخت سیلیکونی ۱۵۰ × ۳۰ میلی‌متر

نتیجه: PV 8.3 نانومتر؛ RMS 0.379 نانومتر؛ شیب 0.13 میکروراد

مورد ۳ – آینه خارج از محور

قطعه کار: آینه زمینی خارج از محور D326 میلی‌متر

نتیجه: PV 35.9 نانومتر؛ RMS 3.9 نانومتر

سوالات متداول در مورد عینک کوارتز

سوالات متداول - دستگاه پولیش پرتو یونی

سوال ۱: پرداخت با پرتو یونی چیست؟
الف۱:پرداخت با پرتو یونی یک فرآیند غیر تماسی است که از پرتوی متمرکز از یون‌ها (مانند یون‌های آرگون) برای حذف مواد از سطح قطعه کار استفاده می‌کند. یون‌ها شتاب گرفته و به سمت سطح هدایت می‌شوند و باعث حذف مواد در سطح اتمی می‌شوند و در نتیجه پرداخت‌های فوق‌العاده صاف ایجاد می‌کنند. این فرآیند تنش مکانیکی و آسیب زیرسطحی را از بین می‌برد و آن را برای قطعات نوری دقیق ایده‌آل می‌کند.

Q2: دستگاه پرداخت پرتو یونی چه نوع سطوحی را می‌تواند پردازش کند؟
الف۲:دستگاه پولیش پرتو یونیمی‌تواند سطوح مختلفی از جمله اجزای نوری ساده مانند ... را پردازش کند.تخت‌ها، کره‌ها و منشورهاو همچنین هندسه‌های پیچیده مانندآسفره‌ها، آسفره‌های خارج از محور، وسطوح آزاداین روش به ویژه روی موادی مانند شیشه نوری، اپتیک مادون قرمز، فلزات و مواد سخت/شکننده مؤثر است.

س3: دستگاه پولیش پرتو یونی با چه موادی می‌تواند کار کند؟
الف۳:دستگاه پولیش پرتو یونیمی‌تواند طیف وسیعی از مواد را صیقل دهد، از جمله:

شیشه نوری: کوارتز، میکروکریستالی، K9 و غیره
مواد مادون قرمز: سیلیکون، ژرمانیوم و غیره
فلزات: آلومینیوم، فولاد ضد زنگ، آلیاژ تیتانیوم و غیره
مواد کریستالی: YAG، کاربید سیلیکون تک کریستالی و غیره
سایر مواد سخت/شکننده: کاربید سیلیکون و غیره

درباره ما

شرکت XKH در زمینه توسعه، تولید و فروش شیشه‌های نوری ویژه و مواد کریستالی جدید با فناوری پیشرفته تخصص دارد. محصولات ما در زمینه الکترونیک نوری، لوازم الکترونیکی مصرفی و نظامی کاربرد دارند. ما قطعات نوری یاقوت کبود، پوشش‌های لنز تلفن همراه، سرامیک، LT، سیلیکون کاربید SIC، کوارتز و ویفرهای کریستالی نیمه‌هادی ارائه می‌دهیم. با تخصص ماهرانه و تجهیزات پیشرفته، ما در پردازش محصولات غیر استاندارد سرآمد هستیم و هدفمان تبدیل شدن به یک شرکت پیشرو در زمینه مواد نوری-الکترونیکی با فناوری پیشرفته است.