مرحله یاتاقان هوایی SiC فوق دقیق
نمودار تفصیلی
نمای کلی
با تکامل مداوم صنعت نیمههادی، تجهیزات پردازش و بازرسی نیازمند عملکرد همواره بالاتری هستند. با تکیه بر تخصص گسترده در کنترل حرکت و موقعیتیابی در سطح نانومتر، ما یک مرحله یاتاقان هوایی دو محوره فوق دقیق از نوع H مسطح توسعه دادهایم.
این مرحله با ساختار سرامیکی سیلیکون کاربید (SiC) بهینه شده با روش المان محدود و فناوری یاتاقان هوای جبران شده، دقت، استحکام و پاسخ دینامیکی فوقالعادهای را ارائه میدهد. این مرحله برای موارد زیر ایدهآل است:
-
پردازش و بازرسی نیمههادی
ساخت و اندازهگیری میکرو/نانو
برش و صیقلکاری با مگسپران در مقیاس نانومتری
اسکن دقیق با سرعت بالا
ویژگیهای کلیدی
-
راهنمای یاتاقان هوایی SiCبرای سختی و دقت فوق العاده بالا
-
دینامیک بالاسرعت تا ۱ متر بر ثانیه، شتاب تا ۴ گرم، تهنشینی سریع
-
محور Y با دو درایوظرفیت بار بالا و پایداری را تضمین میکند
-
گزینههای انکودر: توری نوری یا تداخلسنج لیزری
-
دقت موقعیت یابی: ±۰.۱۵ میکرومتر؛تکرارپذیری: ±۷۵ نانومتر
-
مسیریابی کابل بهینه شدهبرای طراحی تمیز و قابلیت اطمینان درازمدت
-
پیکربندیهای قابل تنظیمبرای نیازهای خاص برنامه
طراحی فوق دقیق و معماری بدون تماس و با محرک مستقیم
-
قاب سرامیکی SiC: ~5 برابر سختی آلیاژ آلومینیوم و ~5 برابر انبساط حرارتی کمتر، که پایداری در سرعت بالا و مقاومت حرارتی را تضمین میکند.
-
یاتاقان هوای جبرانیطراحی اختصاصی، سفتی، ظرفیت بار و پایداری حرکتی را افزایش میدهد.
-
عملکرد پویا: از سرعت ۱ متر بر ثانیه و شتاب ۴ گرم پشتیبانی میکند، ایدهآل برای فرآیندهای با توان عملیاتی بالا.
-
ادغام یکپارچهسازگار با سیستمهای ایزولاسیون ارتعاش، استیجهای چرخشی، ماژولهای شیبدار و پلتفرمهای جابجایی ویفر.
-
مدیریت کابلشعاع خمش کنترلشده، تنش را برای افزایش طول عمر به حداقل میرساند.
-
موتور خطی بدون هستهحرکت روان با نیروی دندانهدار صفر.
-
درایو چند موتورهقرارگیری موتور در صفحه بار، صافی، مسطح بودن و دقت زاویهای را بهبود میبخشد.
-
ایزولاسیون حرارتیموتورها از سازهی استیج ایزوله هستند؛ خنککنندهی هوا یا آب برای چرخههای کاری بالا اختیاری است.
مشخصات
| مدل | ۴۰۰-۴۰۰ | ۵۰۰-۵۰۰ | ۶۰۰-۶۰۰ |
|---|---|---|---|
| محورها | X (اسکن) / Y (گام) | X (اسکن) / Y (گام) | X (اسکن) / Y (گام) |
| سفر (میلی متر) | ۴۰۰ / ۴۰۰ | ۵۰۰ / ۵۰۰ | ۶۰۰ / ۶۰۰ |
| دقت (میکرومتر) | ±۰.۱۵ | ±۰.۲ | ±۰.۲ |
| تکرارپذیری (نانومتر) | ±۷۵ | ±۱۰۰ | ±۱۰۰ |
| وضوح (نانومتر) | ۰.۳ | ۰.۳ | ۰.۳ |
| حداکثر سرعت (متر بر ثانیه) | 1 | 1 | 1 |
| شتاب (g) | 4 | 4 | 4 |
| صافی (میکرومتر) | ±۰.۲ | ±۰.۳ | ±۰.۴ |
| پایداری (نانومتر) | ±۵ | ±۵ | ±۵ |
| حداکثر بار (کیلوگرم) | 20 | 20 | 20 |
| پیچ/رول/یاو (کمان-ثانیه) | ±۱ | ±۱ | ±۱ |
شرایط آزمایش:
-
تامین هوا: تمیز و خشک؛ نقطه شبنم ≤ 0°F؛ فیلتراسیون ذرات ≤ 0.25 میکرومتر؛ یا 99.99% نیتروژن.
-
دقت اندازهگیری شده ۲۵ میلیمتر بالاتر از مرکز صحنه در دمای ۲۰±۱ درجه سانتیگراد، رطوبت نسبی ۴۰-۶۰٪.
کاربردها
-
لیتوگرافی نیمههادی، بازرسی و جابجایی ویفر
-
ساخت میکرو/نانو و مترولوژی دقیق
-
تولید اپتیکهای پیشرفته و تداخلسنجی
-
هوافضا و تحقیقات علمی پیشرفته
سوالات متداول - مرحله یاتاقان هوایی سیلیکون کاربید
۱. مرحله تحمل هوا چیست؟
یک مرحله یاتاقان هوایی از یک لایه نازک هوای تحت فشار بین مرحله و مسیر هدایت استفاده میکند تا ...بدون اصطکاک، بدون سایش و حرکت فوق العاده روانبرخلاف یاتاقانهای مکانیکی مرسوم، این یاتاقان لغزش چسبنده را از بین میبرد، دقتی در سطح نانومتر ارائه میدهد و از قابلیت اطمینان بلندمدت پشتیبانی میکند.
۲. چرا از کاربید سیلیکون (SiC) برای ساختار صحنه استفاده میشود؟
-
سفتی بالا: تقریباً ۵ برابر آلیاژ آلومینیوم، که تغییر شکل را در حین حرکت دینامیکی به حداقل میرساند.
-
انبساط حرارتی کم: حدود ۵ برابر کمتر از آلومینیوم، که باعث حفظ دقت در تغییرات دما میشود.
-
سبک وزنچگالی کمتر در مقایسه با فولاد، امکان عملکرد با سرعت و شتاب بالا را فراهم میکند.
-
پایداری عالیمیرایی و استحکام عالی برای موقعیتیابی فوقالعاده دقیق.
۳. آیا صحنه نیاز به روغنکاری یا نگهداری دارد؟
نیازی به روغن کاری سنتی نیست زیرا ...بدون تماس مکانیکینگهداری توصیه شده شامل موارد زیر است:
-
تامینهوای فشرده یا نیتروژن خشک و تمیز
-
بازرسی دورهای فیلترها و خشککنها
-
کابلهای مانیتورینگ و سیستمهای خنککننده
۴. الزامات تأمین هوا چیست؟
-
نقطه شبنم: ≤ 0 درجه فارنهایت (≈ -18 درجه سانتیگراد)
-
فیلتراسیون ذرات: ≤ 0.25 میکرومتر
-
هوای پاک و خشک یا نیتروژن خالص ۹۹.۹۹٪
-
فشار پایدار با حداقل نوسان
درباره ما
شرکت XKH در زمینه توسعه، تولید و فروش شیشههای نوری ویژه و مواد کریستالی جدید با فناوری پیشرفته تخصص دارد. محصولات ما در حوزه الکترونیک نوری، لوازم الکترونیکی مصرفی و نظامی کاربرد دارند. ما قطعات نوری یاقوت کبود، پوشش لنز تلفن همراه، سرامیک، LT، سیلیکون کاربید SIC، کوارتز و ویفرهای کریستالی نیمههادی ارائه میدهیم. با تخصص ماهرانه و تجهیزات پیشرفته، ما در پردازش محصولات غیر استاندارد سرآمد هستیم و قصد داریم به یک شرکت پیشرو در زمینه مواد نوری-الکترونیکی با فناوری پیشرفته تبدیل شویم.
