ویفر سیلیکونی روکش‌دار با فلز تیتانیوم/مس (تیتانیوم/مس)

شرح مختصر:

ماویفرهای سیلیکونی با روکش فلزی Ti/Cuدارای یک زیرلایه سیلیکونی با کیفیت بالا (یا شیشه/کوارتز اختیاری) است که با ... پوشش داده شده است.لایه چسبندگی تیتانیومو یکلایه رسانای مسبا استفاده ازکندوپاش مگنترون استانداردلایه میانی تیتانیوم به طور قابل توجهی چسبندگی و پایداری فرآیند را بهبود می‌بخشد، در حالی که لایه بالایی مس، سطحی یکنواخت و با مقاومت کم ارائه می‌دهد که برای رابط‌های الکتریکی و ریزساخت‌های پایین‌دستی ایده‌آل است.

برای ما ایمیل ارسال کنید

ویژگی‌ها

نمودار تفصیلی

ویفر سیلیکونی روکش‌دار با فلز تیتانیوم/مس (تیتانیوم/مس)6

نمای کلی

این ویفرها که برای کاربردهای تحقیقاتی و در مقیاس پایلوت طراحی شده‌اند، در اندازه‌ها و محدوده‌های مقاومتی مختلف، با قابلیت سفارشی‌سازی انعطاف‌پذیر برای ضخامت، نوع زیرلایه و پیکربندی پوشش، موجود هستند.

ویژگی‌های کلیدی

چسبندگی قوی و قابلیت اطمینانلایه پیوند تیتانیوم، چسبندگی فیلم به Si/SiO₂ را افزایش داده و استحکام جابجایی را بهبود می‌بخشد.
سطح رسانایی بالاپوشش مس، عملکرد الکتریکی عالی برای کنتاکت‌ها و سازه‌های آزمایشی فراهم می‌کند.
طیف گسترده سفارشی‌سازیاندازه ویفر، مقاومت ویژه، جهت گیری، ضخامت زیرلایه و ضخامت لایه نازک بنا به درخواست موجود است.
زیرلایه‌های آماده برای فرآیندسازگار با گردش‌های کاری رایج آزمایشگاهی و تولیدی (لیتوگرافی، ساخت آبکاری، مترولوژی و غیره)
سری مواد موجود استعلاوه بر Ti/Cu، ما ویفرهای روکش‌دار فلزی Au، Pt، Al، Ni و Ag را نیز ارائه می‌دهیم.

ساختار و رسوب‌گذاری معمول

پشتهزیرلایه + لایه چسبندگی تیتانیوم + لایه پوشش مس
فرآیند استاندارد: کندوپاش مگنترونی
فرآیندهای اختیاریتبخیر حرارتی / آبکاری الکتریکی (برای نیاز به مس ضخیم‌تر)

خواص مکانیکی شیشه کوارتز

مورد	گزینه‌ها
اندازه ویفر	۲ اینچ، ۴ اینچ، ۶ اینچ، ۸ اینچ؛ ۱۰×۱۰ میلی‌متر؛ اندازه‌های سفارشی برای خرد کردن
نوع رسانایی	نوع P / نوع N / مقاومت ویژه ذاتی بالا (Un)
جهت گیری	<100>، <111> و غیره
مقاومت ویژه	<0.0015 Ω·cm; 1-10 Ω·cm؛ > 1000-10000 Ω·cm
ضخامت (میکرومتر)	۲ اینچ: ۲۰۰/۲۸۰/۴۰۰/۵۰۰؛ ۴ اینچ: ۴۵۰/۵۰۰/۵۲۵؛ ۶ اینچ: ۶۲۵/۶۵۰/۶۷۵؛ ۸ اینچ: ۶۵۰/۷۰۰/۷۲۵/۷۷۵؛ سفارشی
مواد زیرلایه	سیلیکون؛ کوارتز اختیاری، شیشه BF33 و غیره
ضخامت فیلم	۱۰ نانومتر / ۵۰ نانومتر / ۱۰۰ نانومتر / ۱۵۰ نانومتر / ۳۰۰ نانومتر / ۵۰۰ نانومتر / ۱ میکرومتر (قابل تنظیم)
گزینه‌های فیلم فلزی	Ti/Cu; همچنین طلا، پلاتین، آل، نیکل، نقره موجود است

ویفر سیلیکونی روکش‌دار با فلز تیتانیوم/مس (تیتانیوم/مس)4

کاربردها

تماس اهمی و زیرلایه‌های رسانابرای تحقیق و توسعه دستگاه و آزمایش الکتریکی
لایه‌های بذر برای آبکاری الکتریکی(RDL، ساختارهای MEMS، تجمع ضخیم مس)
سل-ژل و بسترهای رشد نانوموادبرای تحقیقات نانو و لایه نازک
میکروسکوپ و مترولوژی سطح(آماده‌سازی و اندازه‌گیری نمونه SEM/AFM/SPM)
سطوح زیستی/شیمیاییمانند پلتفرم‌های کشت سلولی، ریزآرایه‌های پروتئین/DNA و زیرلایه‌های بازتاب‌سنجی

سؤالات متداول (ویفرهای سیلیکونی با روکش فلز Ti/Cu)

سوال ۱: چرا از یک لایه تیتانیوم زیر پوشش مس استفاده می‌شود؟
الف) تیتانیوم به عنوان ... عمل می‌کند.لایه چسبندگی (پیوند)، بهبود اتصال مس به زیرلایه و افزایش پایداری فصل مشترک، که به کاهش لایه لایه شدن یا جدا شدن لایه‌ها در حین جابجایی و پردازش کمک می‌کند.

Q2: پیکربندی معمول ضخامت Ti/Cu چیست؟
الف) ترکیبات رایج شامل موارد زیر استTi: ده‌ها نانومتر (مثلاً ۱۰ تا ۵۰ نانومتر)ومس: ۵۰ تا ۳۰۰ نانومتربرای فیلم‌های کندوپاش شده. لایه‌های ضخیم‌تر مس (در سطح میکرومتر) اغلب با ... به دست می‌آیند.آبکاری الکتریکی روی یک لایه بذر مس کندوپاش شدهبسته به کاربرد شما.

Q3: آیا می‌توانید هر دو طرف ویفر را بپوشانید؟
بله.پوشش یک طرفه یا دو طرفهبنا به درخواست موجود است. لطفاً هنگام سفارش، نیاز خود را مشخص کنید.

درباره ما

شرکت XKH در زمینه توسعه، تولید و فروش شیشه‌های نوری ویژه و مواد کریستالی جدید با فناوری پیشرفته تخصص دارد. محصولات ما در زمینه الکترونیک نوری، لوازم الکترونیکی مصرفی و نظامی کاربرد دارند. ما قطعات نوری یاقوت کبود، پوشش‌های لنز تلفن همراه، سرامیک، LT، سیلیکون کاربید SIC، کوارتز و ویفرهای کریستالی نیمه‌هادی ارائه می‌دهیم. با تخصص ماهرانه و تجهیزات پیشرفته، ما در پردازش محصولات غیر استاندارد سرآمد هستیم و هدفمان تبدیل شدن به یک شرکت پیشرو در زمینه مواد نوری-الکترونیکی با فناوری پیشرفته است.