بازوی چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید SiC برای سیستم‌های جابجایی بحرانی

تصویر ویژه از چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید SiC برای سیستم‌های جابجایی بحرانی

شرح مختصر:

چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستیک قطعه پیشرفته است که برای اتوماسیون صنعتی پیشرفته، پردازش نیمه‌هادی‌ها و محیط‌های فوق‌العاده تمیز توسعه داده شده است. معماری چنگالی متمایز و سطح سرامیکی فوق‌العاده صاف آن، آن را برای کار با زیرلایه‌های ظریف، از جمله ویفرهای سیلیکونی، پنل‌های شیشه‌ای و دستگاه‌های نوری ایده‌آل می‌کند. این قطعه که با دقت مهندسی شده و از کاربید سیلیکون فوق‌العاده خالص ساخته شده است،چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستاستحکام مکانیکی بی‌نظیر، قابلیت اطمینان حرارتی و کنترل آلودگی را ارائه می‌دهد.

برای ما ایمیل ارسال کنید

ویژگی‌ها

نمودار تفصیلی

معرفی بازوی چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید/دست

برخلاف بازوهای فلزی یا پلاستیکی مرسوم،چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستعملکرد پایداری را در شرایط شدید حرارتی، شیمیایی و خلاء ارائه می‌دهد. چه در اتاق تمیز کلاس 1 و چه در محفظه پلاسما با خلاء بالا، این قطعه حمل و نقل ایمن، کارآمد و بدون باقیمانده قطعات ارزشمند را تضمین می‌کند.

با ساختاری متناسب با بازوهای رباتیک، دستگاه‌های جابجایی ویفر و ابزارهای انتقال خودکار،چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستیک ارتقاء هوشمند برای هر سیستم با دقت بالا است.

فرآیند تولید چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دست

ساخت یک دستگاه با کارایی بالاچنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستشامل یک گردش کار مهندسی سرامیک کاملاً کنترل‌شده است که تکرارپذیری، قابلیت اطمینان و نرخ نقص بسیار پایین را تضمین می‌کند.

1. مهندسی مواد

فقط از پودر کاربید سیلیکون با خلوص فوق العاده بالا در ساخت آن استفاده می شودچنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دست، تضمین آلودگی یونی کم و استحکام حجمی بالا. پودرها به طور دقیق با افزودنی‌های زینترینگ و چسب‌ها مخلوط می‌شوند تا به تراکم بهینه برسند.

2. تشکیل سازه پایه

هندسه پایهبازو/دست چنگالیبا استفاده از پرس ایزواستاتیک سرد یا قالب‌گیری تزریقی شکل می‌گیرد که چگالی خام بالا و توزیع تنش یکنواخت را تضمین می‌کند. پیکربندی U شکل برای نسبت سختی به وزن و پاسخ دینامیکی بهینه شده است.

3. فرآیند پخت

بدنه سبز رنگِچنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستدر کوره گاز بی‌اثر با دمای بالا و دمای بیش از 2000 درجه سانتیگراد، تف‌جوشی می‌شود. این مرحله چگالی نزدیک به چگالی نظری را تضمین می‌کند و قطعه‌ای تولید می‌کند که در برابر ترک‌خوردگی، تاب برداشتن و انحراف ابعادی تحت بارهای حرارتی دنیای واقعی مقاومت می‌کند.

4. سنگ زنی و ماشینکاری دقیق

از ابزار الماسه پیشرفته CNC برای شکل‌دهی ابعاد نهایی استفاده می‌شود.چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستتلرانس‌های دقیق (±0.01 میلی‌متر) و پرداخت سطح آینه‌ای، انتشار ذرات و تنش مکانیکی را کاهش می‌دهد.

5. تهویه و تمیز کردن سطح

پرداخت نهایی سطح شامل پرداخت شیمیایی و تمیزکاری اولتراسونیک برای آماده‌سازیبازو/دست چنگالیبرای ادغام مستقیم در سیستم‌های فوق تمیز. پوشش‌های اختیاری (CVD-SiC، لایه‌های ضد انعکاس) نیز موجود است.

این فرآیند دقیق تضمین می‌کند که هرچنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستمطابق با سختگیرانه‌ترین استانداردهای صنعتی، از جمله الزامات اتاق تمیز SEMI و ISO.

پارامتر بازوی چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید / دست

مورد	شرایط آزمایش	داده‌ها	واحد
محتوای کاربید سیلیکون	/	>99.5	%
اندازه متوسط دانه	/	۴-۱۰	میکرون
تراکم	/	>3.14	گرم بر سانتی‌متر مکعب
تخلخل ظاهری	/	<0.5	جلد٪
سختی ویکرز	HV0.5	۲۸۰۰	کیلوگرم بر میلی‌متر مربع
مدول گسیختگی (۳ امتیاز)	اندازه نوار تست: 3 x 4 x 40 میلی‌متر	۴۵۰	مگاپاسکال
مقاومت فشاری	۲۰ درجه سانتی‌گراد	۳۹۰۰	مگاپاسکال
مدول الاستیسیته	۲۰ درجه سانتی‌گراد	۴۲۰	معدل
چقرمگی شکست	/	۳.۵	مگاپاسکال/متر^۱/۲
رسانایی حرارتی	۲۰ درجه سانتی‌گراد	۱۶۰	وات/(میلی‌کیلووات)
مقاومت الکتریکی	۲۰ درجه سانتی‌گراد	10⁶-10⁸	اهم سانتی‌متر
ضریب انبساط حرارتی	20 تا 800 درجه سانتیگراد	۴.۳	K^-110^-6
حداکثر دمای کاربرد	اتمسفر اکسیدی	۱۶۰۰	درجه سانتیگراد
حداکثر دمای کاربرد	جو بی‌اثر	۱۹۵۰	درجه سانتیگراد

کاربردهای چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دست

چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستبرای استفاده در کاربردهای با دقت بالا، ریسک بالا و حساس به آلودگی طراحی شده است. این امکان جابجایی، انتقال یا پشتیبانی قابل اعتماد از اجزای حیاتی را بدون هیچگونه آسیبی فراهم می‌کند.

➤ صنعت نیمه هادی

به عنوان چنگال رباتیک در ایستگاه‌های انتقال ویفر جلویی و FOUP استفاده می‌شود.
برای فرآیندهای اچینگ پلاسما و PVD/CVD در محفظه‌های خلاء ادغام می‌شود.
به عنوان بازوی حامل در ابزارهای مترولوژی و ترازبندی ویفر عمل می‌کند.

چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستخطرات تخلیه الکترواستاتیک (ESD) را از بین می‌برد، دقت ابعادی را پشتیبانی می‌کند و در برابر خوردگی پلاسما مقاومت می‌کند.

➤ فوتونیک و اپتیک

از لنزهای ظریف، کریستال‌های لیزر و حسگرها در حین ساخت یا بازرسی پشتیبانی می‌کند.
سفتی بالای آن از لرزش جلوگیری می‌کند، در حالی که بدنه سرامیکی در برابر آلودگی سطوح نوری مقاومت می‌کند.

➤ تولید نمایشگر و پنل

در حین حمل و نقل یا بازرسی، شیشه‌های نازک، ماژول‌های OLED و زیرلایه‌های LCD را کنترل می‌کند.
مسطح و از نظر شیمیایی بی‌اثرچنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستدر برابر خراش یا حکاکی شیمیایی محافظت می‌کند.

➤ هوافضا و ابزارهای علمی

در مونتاژ اپتیک ماهواره، رباتیک خلاء و تنظیمات خط پرتو سینکروترون مورد استفاده قرار می‌گیرد.
در اتاق‌های تمیز در سطح فضا و محیط‌های مستعد تابش، بی‌نقص عمل می‌کند.

در هر زمینه،چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستکارایی سیستم را افزایش می‌دهد، خرابی قطعات را کاهش می‌دهد و زمان از کارافتادگی را به حداقل می‌رساند.

سوالات متداول - سوالات متداول در مورد چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید / دست

سوال ۱: چه چیزی باعث می‌شود که چنگال سرامیکی سیلیکون کاربیدی از نمونه‌های فلزی آن بهتر باشد؟

چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستسختی برتر، چگالی کمتر، مقاومت شیمیایی بهتر و انبساط حرارتی به طور قابل توجهی کمتر از فلزات دارد. همچنین با اتاق تمیز سازگار است و عاری از خوردگی یا تولید ذرات است.

Q2: آیا می‌توانم ابعاد سفارشی برای بازو/دست چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید خود درخواست کنم؟

بله. ما سفارشی‌سازی کاملی از جمله عرض چنگال، ضخامت، سوراخ‌های نصب، برش‌ها و عملیات سطحی ارائه می‌دهیم. چه برای ویفرهای ۶ اینچی، ۸ اینچی یا ۱۲ اینچی، شمابازو/دست چنگالیمی‌تواند متناسب با اندام شما تنظیم شود.

س ۳: بازوی چنگال سرامیکی سیلیکون کاربیدی چه مدت در زیر پلاسما یا خلاء دوام می‌آورد؟

به لطف ماده SiC با چگالی بالا و طبیعت بی‌اثر،بازو/دست چنگالیحتی پس از هزاران چرخه فرآیند، همچنان کاربردی باقی می‌ماند. این قطعه تحت بارهای حرارتی پلاسما یا خلاء شدید، حداقل سایش را نشان می‌دهد.

Q4: آیا این محصول برای اتاق‌های تمیز کلاس 1 ISO مناسب است؟

کاملاً.چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستدر تأسیسات کلین روم دارای مجوز تولید و بسته‌بندی می‌شود، و سطح ذرات آن بسیار پایین‌تر از الزامات کلاس ۱ ISO است.

Q5: حداکثر دمای کارکرد این بازوی چنگالی/دست چقدر است؟

چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دستمی‌تواند به طور مداوم تا دمای ۱۵۰۰ درجه سانتیگراد کار کند، که آن را برای استفاده مستقیم در محفظه‌های فرآیند با دمای بالا و سیستم‌های خلاء حرارتی مناسب می‌کند.

این سوالات متداول، رایج‌ترین نگرانی‌های فنی مهندسان، مدیران آزمایشگاه و یکپارچه‌سازان سیستم را که از ... استفاده می‌کنند، منعکس می‌کند.چنگال سرامیکی سیلیکون کاربید بازو/دست.

درباره ما

شرکت XKH در زمینه توسعه، تولید و فروش شیشه‌های نوری ویژه و مواد کریستالی جدید با فناوری پیشرفته تخصص دارد. محصولات ما در زمینه الکترونیک نوری، لوازم الکترونیکی مصرفی و نظامی کاربرد دارند. ما قطعات نوری یاقوت کبود، پوشش‌های لنز تلفن همراه، سرامیک، LT، سیلیکون کاربید SIC، کوارتز و ویفرهای کریستالی نیمه‌هادی ارائه می‌دهیم. با تخصص ماهرانه و تجهیزات پیشرفته، ما در پردازش محصولات غیر استاندارد سرآمد هستیم و هدفمان تبدیل شدن به یک شرکت پیشرو در زمینه مواد نوری-الکترونیکی با فناوری پیشرفته است.