سینی سرامیکی سیلیکون کاربید مکنده لوله سرامیکی سیلیکون کاربید تامین کننده پخت در دمای بالا پردازش سفارشی
ویژگی‌های اصلی:
1. سینی سرامیکی سیلیکون کاربید
- سختی بالا و مقاومت در برابر سایش: سختی آن نزدیک به الماس است و می‌تواند برای مدت طولانی در برابر سایش مکانیکی در پردازش ویفر مقاومت کند.
- رسانایی حرارتی بالا و ضریب انبساط حرارتی پایین: اتلاف حرارت سریع و پایداری ابعادی، جلوگیری از تغییر شکل ناشی از تنش حرارتی.
- صافی و سطح نهایی بالا: صافی سطح تا حد میکرون است که تماس کامل بین ویفر و دیسک را تضمین می‌کند و آلودگی و آسیب را کاهش می‌دهد.
پایداری شیمیایی: مقاومت قوی در برابر خوردگی، مناسب برای فرآیندهای تمیزکاری مرطوب و اچینگ در تولید نیمه هادی.
2. لوله سرامیکی کاربید سیلیکون
- مقاومت در برابر دمای بالا: می‌تواند در محیط با دمای بالا بالاتر از 1600 درجه سانتیگراد برای مدت طولانی کار کند، مناسب برای فرآیند نیمه‌هادی با دمای بالا.
مقاومت عالی در برابر خوردگی: مقاوم در برابر اسیدها، قلیاها و انواع حلال‌های شیمیایی، مناسب برای محیط‌های فرآیندی سخت.
- سختی بالا و مقاومت در برابر سایش: در برابر فرسایش ذرات و سایش مکانیکی مقاومت می‌کند و عمر مفید را افزایش می‌دهد.
- رسانایی حرارتی بالا و ضریب انبساط حرارتی پایین: هدایت سریع گرما و پایداری ابعادی، کاهش تغییر شکل یا ترک خوردگی ناشی از تنش حرارتی.
پارامتر محصول：
پارامتر سینی سرامیکی سیلیکون کاربید:
| (دارایی مادی) | (واحد) | (اس اس آی سی) | |
| (محتوای SiC) | (وزن)٪ | >99 | |
| (اندازه متوسط دانه) | میکرون | ۴-۱۰ | |
| (چگالی) | کیلوگرم بر دسی‌متر مکعب | >3.14 | |
| (تخلخل ظاهری) | اکسیژن مصرفی1% | <0.5 | |
| (سختی ویکرز) | اچ وی ۰.۵ | معدل | 28 |
| *() استحکام خمشی* (سه امتیاز) | ۲۰ درجه سانتیگراد | مگاپاسکال | ۴۵۰ |
| (مقاومت فشاری) | ۲۰ درجه سانتیگراد | مگاپاسکال | ۳۹۰۰ |
| (مدول الاستیک) | ۲۰ درجه سانتیگراد | معدل | ۴۲۰ |
| (مقاومت در برابر شکست) | مگاپاسکال/متر مکعب | ۳.۵ | |
| (رسانایی حرارتی) | ۲۰ درجه سانتیگراد | وزن/(متر*کلوین) | ۱۶۰ |
| (مقاومت ویژه) | ۲۰ درجه سانتیگراد | اهم بر سانتی‌متر | ۱۰۶-۱۰۸ |
(ضریب انبساط حرارتی) | الف(RT**...۸۰ درجه سانتیگراد) | ک-۱*۱۰-۶ | ۴.۳ |
(حداکثر دمای عملیاتی) | oºC | ۱۷۰۰ | |
پارامتر لوله سرامیکی کاربید سیلیکون:
| اقلام | فهرست |
| آلفا-سیلیک اسید | ۹۹٪ دقیقه |
| تخلخل ظاهری | حداکثر ۱۶٪ |
| چگالی ظاهری | 2.7 گرم بر سانتی‌متر مکعب در دقیقه |
| مقاومت خمشی در دمای بالا | 100 مگاپاسکال دقیقه |
| ضریب انبساط حرارتی | کی-۱ ۴.۷x۱۰ -۶ |
| ضریب رسانایی حرارتی (1400 درجه سانتیگراد) | ۲۴ وات بر کیلومتر |
| حداکثر دمای کاری | ۱۶۵۰ درجه سانتیگراد |
کاربردهای اصلی:
1. صفحه سرامیکی کاربید سیلیکون
- برش و پرداخت ویفر: به عنوان یک سکوی تکیه‌گاه برای اطمینان از دقت و پایداری بالا در حین برش و پرداخت عمل می‌کند.
- فرآیند لیتوگرافی: ویفر در دستگاه لیتوگرافی ثابت می‌شود تا از قرارگیری دقیق آن در حین نوردهی اطمینان حاصل شود.
- پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP): به عنوان یک سکوی نگهدارنده برای پدهای پرداخت عمل می‌کند و توزیع یکنواخت فشار و گرما را فراهم می‌کند.
2. لوله سرامیکی کاربید سیلیکون
- لوله کوره دما بالا: برای تجهیزات دما بالا مانند کوره دیفیوژن و کوره اکسیداسیون برای حمل ویفرها جهت عملیات حرارتی دما بالا استفاده می‌شود.
- فرآیند CVD/PVD: به عنوان لوله یاتاقان در محفظه واکنش، مقاوم در برابر دماهای بالا و گازهای خورنده.
- لوازم جانبی تجهیزات نیمه‌هادی: برای مبدل‌های حرارتی، خطوط لوله گاز و غیره، برای بهبود راندمان مدیریت حرارتی تجهیزات.
XKH طیف کاملی از خدمات سفارشی برای سینی‌های سرامیکی سیلیکون کاربید، فنجان‌های مکش و لوله‌های سرامیکی سیلیکون کاربید ارائه می‌دهد. سینی‌های سرامیکی سیلیکون کاربید و فنجان‌های مکش، XKH را می‌توان با توجه به نیاز مشتری در اندازه‌ها، شکل‌ها و زبری سطح مختلف سفارشی‌سازی کرد و از عملیات پوشش ویژه پشتیبانی می‌کند، مقاومت در برابر سایش و خوردگی را افزایش می‌دهد. برای لوله‌های سرامیکی سیلیکون کاربید، XKH می‌تواند انواع قطر داخلی، قطر خارجی، طول و ساختار پیچیده (مانند لوله شکل داده شده یا لوله متخلخل) را سفارشی‌سازی کند و فرآیندهای پرداخت، پوشش ضد اکسیداسیون و سایر عملیات سطحی را ارائه دهد. XKH تضمین می‌کند که مشتریان می‌توانند از مزایای عملکرد محصولات سرامیکی سیلیکون کاربید برای برآورده کردن نیازهای دشوار زمینه‌های تولیدی سطح بالا مانند نیمه‌هادی‌ها، LEDها و فتوولتائیک‌ها نهایت استفاده را ببرند.
نمودار تفصیلی
