سرامیک سرامبی سرامیک سیلیس سیلیكون لوله سرامیکی سیلیکون لوله سرامیک تهیه دمای بالا فرآوری سفارشی
ویژگی های اصلی:
1 سینی سرامیک کاربید سیلیکون
- سختی و مقاومت در برابر سایش: سختی نزدیک به الماس است و می تواند برای مدت طولانی در پردازش ویفر در برابر سایش مکانیکی مقاومت کند.
- هدایت حرارتی بالا و ضریب انبساط حرارتی کم: اتلاف سریع حرارت و پایداری ابعادی ، جلوگیری از تغییر شکل ناشی از استرس حرارتی.
- صاف بودن و سطح سطح: صافی سطح تا سطح میکرون است و از تماس کامل بین ویفر و دیسک اطمینان حاصل می کند ، آلودگی و آسیب را کاهش می دهد.
ثبات شیمیایی: مقاومت در برابر خوردگی قوی ، مناسب برای فرآیندهای تمیز کردن و اچ کردن در ساخت نیمه هادی.
2. لوله سرامیک کاربید سیلیکون
- مقاومت در برابر دمای بالا: می تواند برای مدت طولانی در محیط دمای بالا بالاتر از 1600 درجه سانتیگراد کار کند ، مناسب برای فرآیند دمای بالا نیمه هادی.
مقاومت در برابر خوردگی عالی: مقاوم در برابر اسیدها ، قلیایی ها و انواع حلالهای شیمیایی ، مناسب برای محیط های فرآیند سخت.
- سختی و مقاومت در برابر سایش: در برابر فرسایش ذرات و سایش مکانیکی مقاومت کنید ، عمر خدمات را گسترش دهید.
- هدایت حرارتی بالا و ضریب کم انبساط حرارتی: هدایت سریع گرما و پایداری بعدی ، کاهش تغییر شکل یا ترک خوردگی ناشی از استرس حرارتی.
پارامتر محصول
پارامتر سینی سرامیک کاربید سیلیکون:
(خاصیت مادی) | (واحد) | (SSIC) | |
(محتوای sic) | (وزنی) ٪ | > 99 | |
(اندازه متوسط دانه) | میکرون | 4-10 | |
(چگالی) | kg/dm3 | > 3.14 | |
(تخلخل ظاهری) | VO1 ٪ | <0.5 | |
(سختی ویکرز) | HV 0.5 | معدل | 28 |
*() قدرت خمشی* (سه امتیاز) | 20 درجه سانتیگراد | MPA | 450 |
(قدرت فشاری) | 20 درجه سانتیگراد | MPA | 3900 |
(مدول الاستیک) | 20 درجه سانتیگراد | معدل | 420 |
(سختی شکستگی) | MPA/M '٪ | 3.5 | |
(هدایت حرارتی) | 20 درجه سانتیگراد | w/(m*k) | 160 |
(مقاومت) | 20 درجه سانتیگراد | OHM.CM | 106-108 |
(ضریب انبساط حرارتی) | A (RT ** ... 80 درجه سانتیگراد) | K-1*10-6 | 4.3 |
(حداکثر دمای عملیاتی) | درجه سانتیگراد | 1700 |
پارامتر لوله سرامیک کاربید سیلیکون:
موارد | فهرست |
α-sic | 99 ٪ دقیقه |
تخلخل ظاهری | 16 ٪ حداکثر |
تراکم فله | 2.7g/cm3 دقیقه |
استحکام در دمای بالا | 100 مگاپاسکال دقیقه |
ضریب انبساط حرارتی | k -4.7x10 -6 |
ضریب هدایت حرارتی (1400 درجه سانتیگراد) | 24 w/mk |
حداکثر دمای کار | 1650 درجه سانتیگراد |
برنامه های اصلی:
1. صفحه سرامیک کاربید سیلیکون
- برش و جلا دادن ویفر: به عنوان یک سکوی یاتاقان برای اطمینان از دقت و ثبات بالا در حین برش و پولیش خدمت می کند.
- فرآیند لیتوگرافی: ویفر در دستگاه لیتوگرافی ثابت است تا از موقعیت یابی دقیق در هنگام قرار گرفتن در معرض اطمینان حاصل شود.
- پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP): به عنوان یک بستر پشتیبانی برای جلا دادن لنت ها ، ارائه فشار یکنواخت و توزیع گرما عمل می کند.
2. لوله سرامیک کاربید سیلیکون
- لوله کوره با درجه حرارت بالا: برای تجهیزات درجه حرارت بالا مانند کوره انتشار و کوره اکسیداسیون برای حمل ویفرها برای درمان فرآیند دمای بالا استفاده می شود.
- فرآیند CVD/PVD: به عنوان یک لوله یاتاقان در محفظه واکنش ، در برابر درجه حرارت بالا و گازهای خورنده مقاوم است.
- لوازم جانبی تجهیزات نیمه هادی: برای مبدلهای حرارتی ، خطوط لوله گاز و غیره ، برای بهبود کارایی مدیریت حرارتی تجهیزات.
XKH طیف کاملی از خدمات سفارشی را برای سینی های سرامیکی کاربید سیلیکون ، فنجان های مکش و لوله های سرامیکی کاربید سیلیکون ارائه می دهد. سینی های سرامیکی کاربید سیلیکون و فنجان های مکش ، XKH را می توان با توجه به نیاز مشتری در اندازه های مختلف ، شکل ها و زبری سطح سفارشی سازی کرد و از درمان پوشش ویژه پشتیبانی کرد ، مقاومت سایش و مقاومت در برابر خوردگی را تقویت کرد. برای لوله های سرامیکی کاربید سیلیکون ، XKH می تواند انواع مختلفی از قطر داخلی ، قطر بیرونی ، طول و ساختار پیچیده (مانند لوله شکل یا لوله متخلخل) را سفارشی کند و پولیش ، پوشش آنتی اکسیداسیون و سایر فرآیندهای تصفیه سطح را فراهم کند. XKH تضمین می کند که مشتریان می توانند از مزایای عملکرد محصولات سرامیکی کاربید سیلیکون برای برآورده کردن نیازهای خواستار زمینه های تولیدی سطح بالا مانند نیمه هادی ها ، LED ها و فتوولتائیک استفاده کنند.
نمودار دقیق



