گرافیت صفحه سینی سرامیکی SiC با پوشش CVD SiC برای تجهیزات

توضیح کوتاه:

شرکت Shanghai Xinkehui New Materials, Ltd. دیسک اچینگ نیمه هادی Φ380-Φ600 میلی متری، دیسک دارای ویفر، سینی کاربید سیلیکون، سینی SIC، سینی کاربید سیلیکون، سینی اچینگ ICP، سینی اچ، سینی اچینگ، سینی کاربید سیلیکون، خلوص عمر کاربید سیلیکون 9.9% > چهار برابر سینی CVD مبتنی بر گرافیت، استفاده طولانی مدت بدون تغییر شکل، مقاوم در برابر اسید FH، خوردگی H2So4 متمرکز است.

برای ما ایمیل بفرستید

جزئیات محصول

برچسب های محصول

سرامیک های کاربید سیلیکون نه تنها در مرحله رسوب لایه نازک، مانند اپیتاکسی یا MOCVD، یا در پردازش ویفر، که در قلب آن سینی های حامل ویفر برای MOCVD ابتدا در معرض محیط رسوب قرار می گیرند، استفاده نمی شود و بنابراین در برابر آن بسیار مقاوم هستند. گرما و خوردگی. حامل های با پوشش SiC همچنین دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع حرارتی عالی هستند.

حامل های ویفر سیلیکون کاربید رسوب بخار شیمیایی خالص (CVD SiC) برای پردازش رسوب بخار شیمیایی آلی فلزات در دمای بالا (MOCVD).

حامل های ویفر CVD SiC خالص به طور قابل توجهی نسبت به حامل های ویفر معمولی مورد استفاده در این فرآیند که گرافیت هستند و با لایه ای از CVD SiC پوشانده شده اند برتری دارند.این حامل های مبتنی بر گرافیت پوشش داده شده نمی توانند دماهای بالا (1100 تا 1200 درجه سانتیگراد) مورد نیاز برای رسوب گان led آبی و سفید با روشنایی بالا را تحمل کنند.دماهای بالا باعث می شود که روکش سوراخ های کوچکی ایجاد کند که از طریق آن مواد شیمیایی فرآیند گرافیت زیر را فرسایش می دهند.سپس ذرات گرافیت پوسته پوسته می شوند و GaN را آلوده می کنند که باعث می شود حامل ویفر پوشش داده شده جایگزین شود.

CVD SiC دارای خلوص 99.999٪ یا بیشتر است و دارای هدایت حرارتی بالا و مقاومت در برابر شوک حرارتی است.بنابراین، می تواند دماهای بالا و محیط های سخت تولید LED با روشنایی بالا را تحمل کند.این ماده یکپارچه جامد است که به چگالی نظری می رسد، ذرات حداقلی را تولید می کند و مقاومت بسیار بالایی در برابر خوردگی و فرسایش نشان می دهد.این ماده می تواند کدورت و رسانایی را بدون وارد کردن ناخالصی های فلزی تغییر دهد.ویفر حامل ها معمولاً 17 اینچ قطر دارند و می توانند تا 40 ویفر 2-4 اینچی را در خود جای دهند.