تجهیزات سفارشی قایق کریستال کوارتز برای مقاومت در برابر دمای بالا و سایش
قایقهای کریستال کوارتز برای نگهداری و انتقال ویفرهای سیلیکونی در محیطهای با دمای بالا، مانند کورههای مورد استفاده برای فرآیندهایی مانند اکسیداسیون، انتشار و آنیل، طراحی شدهاند. استفاده از کوارتز تضمین میکند که این ظرف میتواند در برابر دماهای شدید و محیطهای شیمیایی خشن که در این فرآیندهای تولید نیمههادی با آن مواجه میشوند، مقاومت کند.
طراحی قایق کوارتز امکان بارگیری و تخلیه کارآمد ویفرهای متعدد را فراهم میکند و تولید با توان عملیاتی بالا را در تأسیسات تولید نیمههادی امکانپذیر میسازد. استفاده از قایقهای کوارتز به تضمین یکپارچگی و کیفیت ویفرهای سیلیکونی در طول عملیات حرارتی و شیمیایی مختلف کمک میکند و به بهبود دقت و قابلیت اطمینان کلی دستگاههای نیمههادی تولید شده کمک میکند.
قایق ویفر کوارتز ابزاری تخصصی است که در صنعت نیمههادی برای کار با ویفرهای سیلیکونی استفاده میشود. این وسیله معمولاً از کوارتز با خلوص بالا ساخته میشود که به دلیل خواص حرارتی و شیمیایی عالی آن انتخاب میشود.
این قایق ویفر برای حمل و پردازش ویفرهای سیلیکونی در محیطهای با دمای بالا، مانند کورههای مورد استفاده برای فرآیندهایی مانند اکسیداسیون، انتشار و آنیل، طراحی شده است. استفاده از کوارتز تضمین میکند که این قایقها میتوانند در برابر دماهای شدید و محیطهای شیمیایی خشن که در این فرآیندهای تولید نیمههادی با آن مواجه میشوند، مقاومت کنند.
طراحی این قایقها امکان بارگیری و تخلیه کارآمد ویفرهای متعدد را فراهم میکند و در نتیجه تولید با توان عملیاتی بالا در تأسیسات تولید نیمههادی را به همراه دارد. استفاده از ویفرهای کوارتز به تضمین یکپارچگی و کیفیت ویفرهای سیلیکونی در طول عملیات حرارتی و شیمیایی مختلف کمک میکند و در نتیجه دقت و قابلیت اطمینان دستگاههای نیمههادی تولید شده را افزایش میدهد.
نمودار تفصیلی


