پین‌های بالابر یاقوت کبود ممتاز، پین بالابر ویفر تک کریستال Al₂O₃
پارامترهای فنی
| ترکیب شیمیایی | آل2O3 |
| سختی | 9 موهس |
| طبیعت نوری | تک محوره |
| ضریب شکست | ۱.۷۶۲-۱.۷۷۰ |
| دوشکستی | ۰.۰۰۸-۰.۰۱۰ |
| پراکندگی | کم، ۰.۰۱۸ |
| درخشش | زجاجیه |
| چندرنگی | متوسط تا قوی |
| قطر | 0.4 میلی‌متر تا 30 میلی‌متر |
| تحمل قطر | 0.004 میلی‌متر-0.05 میلی‌متر |
| طول | ۲ میلی‌متر تا ۱۵۰ میلی‌متر |
| تحمل طول | 0.03 میلی‌متر-0.25 میلی‌متر |
| کیفیت سطح | ۴۰/۲۰ |
| گردی سطح | RZ0.05 |
| شکل سفارشی | هر دو انتها صاف، یک انتها قرمز، هر دو انتها قرمز، پین‌های زین و اشکال خاص |
ویژگی‌های کلیدی
۱. سختی و مقاومت سایشی استثنایی: با درجه سختی ۹ موس، که پس از الماس در رتبه دوم قرار دارد، پین‌های Sapphire Lift ویژگی‌های سایشی را نشان می‌دهند که به طور چشمگیری از جایگزین‌های سنتی کاربید سیلیکون، سرامیک آلومینا یا آلیاژ فلز پیشی می‌گیرند. این سختی شدید به کاهش قابل توجه تولید ذرات و نیازهای نگهداری منجر می‌شود، به طوری که طول عمر آنها معمولاً ۳ تا ۵ برابر بیشتر از مواد معمولی در کاربردهای مشابه است.
2. مقاومت عالی در برابر دمای بالا: پین‌های Sapphire Lift که برای تحمل عملکرد پایدار در دماهای بالاتر از 1000 درجه سانتیگراد بدون تخریب طراحی شده‌اند، پایداری ابعادی و استحکام مکانیکی را در سخت‌ترین فرآیندهای حرارتی حفظ می‌کنند. این امر آنها را به ویژه برای کاربردهای حیاتی مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD)، رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی (MOCVD) و سیستم‌های آنیل دمای بالا که در آنها عدم تطابق انبساط حرارتی می‌تواند بازده فرآیند را به خطر بیندازد، ارزشمند می‌کند.
۳. بی‌اثری شیمیایی: ساختار یاقوت کبود تک کریستالی مقاومت قابل توجهی در برابر حمله اسید HF، مواد شیمیایی مبتنی بر کلر و سایر گازهای فرآیندی تهاجمی که معمولاً در ساخت نیمه‌هادی‌ها با آنها مواجه می‌شویم، نشان می‌دهد. این پایداری شیمیایی عملکرد پایدار در محیط‌های پلاسما را تضمین می‌کند و از تشکیل عیوب سطحی که می‌تواند منجر به آلودگی ویفر شود، جلوگیری می‌کند.
۴. آلودگی کم ذرات: این پین‌های بالابر که از کریستال‌های یاقوت کبود بدون نقص و با خلوص بالا (معمولاً >۹۹.۹۹٪) ساخته شده‌اند، حتی پس از استفاده طولانی، حداقل ریزش ذرات را نشان می‌دهند. ساختار سطح غیر متخلخل و پرداخت‌های صیقلی آنها، سختگیرانه‌ترین الزامات اتاق تمیز را برآورده می‌کند و مستقیماً به بهبود بازده فرآیند در تولید نیمه‌هادی‌های گره پیشرفته کمک می‌کند.
ماشینکاری با دقت بالا: با استفاده از تکنیک‌های پیشرفته سنگ‌زنی الماس و پردازش لیزری، پین‌های Sapphire Lift می‌توانند با تلرانس‌های زیر میکرون و پرداخت سطحی زیر Ra 0.05μm تولید شوند. هندسه‌های سفارشی شامل پروفیل‌های مخروطی، پیکربندی‌های ویژه نوک و ویژگی‌های ترازبندی یکپارچه را می‌توان برای رفع چالش‌های خاص جابجایی ویفر در تجهیزات ساخت نسل بعدی مهندسی کرد.
کاربردهای اولیه
۱. تولید نیمه‌هادی: پین‌های بالابر یاقوت کبود نقش مهمی در سیستم‌های پیشرفته پردازش ویفر ایفا می‌کنند و پشتیبانی قابل اعتماد و موقعیت‌یابی دقیقی را در طول فرآیندهای فوتولیتوگرافی، اچینگ، رسوب‌گذاری و بازرسی فراهم می‌کنند. پایداری حرارتی و شیمیایی آنها، آنها را به ویژه در ابزارهای لیتوگرافی EUV و کاربردهای بسته‌بندی پیشرفته که در آنها پایداری ابعادی در مقیاس نانومتر ضروری است، ارزشمند می‌کند.
2. اپیتاکسی LED (MOCVD): در سیستم‌های رشد اپیتاکسیال نیمه‌هادی مرکب نیترید گالیوم (GaN) و مرتبط، پین‌های بلندکننده یاقوت کبود، پشتیبانی پایداری از ویفر را در دماهایی که اغلب بیش از 1000 درجه سانتیگراد هستند، فراهم می‌کنند. ویژگی‌های انبساط حرارتی منطبق آنها با زیرلایه‌های یاقوت کبود، خمیدگی ویفر و تشکیل لغزش را در طول فرآیند رشد اپیتاکسیال به حداقل می‌رساند.
۳. صنعت فتوولتائیک: تولید سلول‌های خورشیدی با راندمان بالا از خواص منحصر به فرد یاقوت کبود در فرآیندهای انتشار، تف‌جوشی و رسوب لایه نازک در دمای بالا بهره می‌برد. مقاومت در برابر سایش پین‌ها به ویژه در محیط‌های تولید انبوه که طول عمر قطعات مستقیماً بر هزینه‌های تولید تأثیر می‌گذارد، ارزشمند است.
۴. پردازش دقیق اپتیک و الکترونیک: فراتر از کاربردهای نیمه‌هادی، پین‌های Sapphire Lift در جابجایی قطعات نوری ظریف، دستگاه‌های MEMS و زیرلایه‌های تخصصی که در آنها پردازش بدون آلودگی و جلوگیری از خراش بسیار مهم است، کاربرد دارند. خواص عایق الکتریکی آنها، آنها را برای کاربردهایی که شامل دستگاه‌های حساس به الکترواستاتیک هستند، ایده‌آل می‌کند.
خدمات XKH برای پین‌های بالابر یاقوت کبود
XKH پشتیبانی فنی جامع و راه‌حل‌های سفارشی برای پین‌های Sapphire Lift ارائه می‌دهد:
۱. خدمات توسعه سفارشی
· پشتیبانی از سفارشی‌سازی ابعادی، هندسی و عملیات سطحی
· انتخاب مواد و توصیه‌های بهینه‌سازی پارامترهای فنی
· طراحی محصول مشارکتی و تأیید شبیه‌سازی
۲. قابلیت‌های تولید دقیق
· ماشینکاری با دقت بالا با تلرانس‌های کنترل‌شده در محدوده ±1μm
· عملیات ویژه شامل پرداخت آینه‌ای و پخ‌زنی لبه‌ها
· راهکارهای اصلاح سطح اختیاری مانند پوشش‌های ضد چسبندگی
۳. سیستم تضمین کیفیت
· اجرای دقیق بازرسی مواد ورودی و کنترل فرآیند
· بازرسی نوری تمام‌بعدی و تحلیل مورفولوژی سطح
· ارائه گزارش‌های تست عملکرد محصول
۴. خدمات زنجیره تأمین
· تحویل سریع محصولات استاندارد
· مدیریت موجودی اختصاصی برای حساب‌های کلیدی
۵. پشتیبانی فنی
· مشاوره راهکارهای کاربردی
· پاسخگویی سریع پس از فروش
ما متعهد به ارائه محصولات با کیفیت بالا و خدمات فنی حرفه‌ای برای پین‌های Sapphire Lift هستیم تا نیازهای سختگیرانه صنایع نیمه‌هادی، LED و سایر صنایع پیشرفته را برآورده کنیم.
