زیرلایه یاقوت کبود طرح‌دار PSS، 2 اینچ 4 اینچ 6 اینچ، حکاکی خشک ICP می‌تواند برای تراشه‌های LED استفاده شود.
مشخصه هسته
۱. ویژگی‌های مواد: ماده‌ی زیرلایه، یک یاقوت کبود تک کریستالی (Al₂O₃) با سختی بالا، مقاومت حرارتی بالا و پایداری شیمیایی است.
۲. ساختار سطح: سطح با استفاده از فوتولیتوگرافی و حکاکی به ساختارهای میکرو-نانو متناوب، مانند مخروط‌ها، هرم‌ها یا آرایه‌های شش‌ضلعی، شکل می‌گیرد.
۳. عملکرد نوری: از طریق طراحی الگوی سطح، بازتاب کلی نور در فصل مشترک کاهش می‌یابد و راندمان استخراج نور بهبود می‌یابد.
۴. عملکرد حرارتی: زیرلایه یاقوت کبود رسانایی حرارتی عالی دارد، مناسب برای کاربردهای LED با توان بالا.
۵. مشخصات اندازه: اندازه‌های رایج ۲ اینچ (۵۰.۸ میلی‌متر)، ۴ اینچ (۱۰۰ میلی‌متر) و ۶ اینچ (۱۵۰ میلی‌متر) هستند.
زمینه‌های کاربرد اصلی
۱. تولید ال‌ای‌دی:
بهبود راندمان استخراج نور: PSS از طریق طراحی الگودار، اتلاف نور را کاهش می‌دهد و به طور قابل توجهی روشنایی و راندمان نوری LED را بهبود می‌بخشد.
بهبود کیفیت رشد اپیتاکسیال: ساختار الگودار، پایه رشد بهتری را برای لایه‌های اپیتاکسیال GaN فراهم می‌کند و عملکرد LED را بهبود می‌بخشد.
۲. دیود لیزر (LD):
لیزرهای پرقدرت: رسانایی حرارتی بالا و پایداری PSS برای دیودهای لیزر پرقدرت مناسب است و عملکرد اتلاف گرما و قابلیت اطمینان را بهبود می‌بخشد.
جریان آستانه پایین: بهینه سازی رشد اپیتاکسیال، کاهش جریان آستانه دیود لیزر و بهبود راندمان.
۳. آشکارساز نوری:
حساسیت بالا: انتقال نور بالا و چگالی نقص کم PSS، حساسیت و سرعت پاسخ آشکارساز نوری را بهبود می‌بخشد.
پاسخ طیفی گسترده: مناسب برای تشخیص فوتوالکتریک در محدوده فرابنفش تا مرئی.
۴. الکترونیک قدرت:
مقاومت در برابر ولتاژ بالا: عایق‌بندی بالا و پایداری حرارتی یاقوت کبود برای دستگاه‌های برق ولتاژ بالا مناسب است.
اتلاف حرارت کارآمد: رسانایی حرارتی بالا، عملکرد اتلاف حرارت دستگاه‌های قدرت را بهبود می‌بخشد و عمر مفید آنها را افزایش می‌دهد.
۵. دستگاه‌های RF:
عملکرد در فرکانس بالا: تلفات دی‌الکتریک پایین و پایداری حرارتی بالای PSS، آن را برای دستگاه‌های RF فرکانس بالا مناسب می‌کند.
نویز کم: مسطح بودن بالا و چگالی کم نقص، نویز دستگاه را کاهش داده و کیفیت سیگنال را بهبود می‌بخشد.
۶. حسگرهای زیستی:
تشخیص با حساسیت بالا: انتقال نور بالا و پایداری شیمیایی PSS برای حسگرهای زیستی با حساسیت بالا مناسب است.
زیست سازگاری: زیست سازگاری یاقوت کبود، آن را برای کاربردهای پزشکی و زیست آشکارسازی مناسب می‌سازد.
زیرلایه یاقوت کبود طرح‌دار (PSS) با ماده اپیتاکسیال GaN:
زیرلایه یاقوت کبود طرح‌دار (PSS) یک زیرلایه ایده‌آل برای رشد اپیتاکسیال GaN (نیترید گالیم) است. ثابت شبکه یاقوت کبود نزدیک به GaN است که می‌تواند عدم تطابق شبکه و نقص در رشد اپیتاکسیال را کاهش دهد. ساختار میکرو-نانو سطح PSS نه تنها راندمان استخراج نور را بهبود می‌بخشد، بلکه کیفیت کریستالی لایه اپیتاکسیال GaN را نیز بهبود می‌بخشد و در نتیجه عملکرد و قابلیت اطمینان LED را بهبود می‌بخشد.
پارامترهای فنی
| مورد | زیرلایه یاقوت کبود طرح‌دار (۲ تا ۶ اینچ) | ||
| قطر | ۵۰.۸ ± ۰.۱ میلی‌متر | ۱۰۰.۰ ± ۰.۲ میلی‌متر | ۱۵۰.۰ ± ۰.۳ میلی‌متر |
| ضخامت | ۴۳۰ ± ۲۵ میکرومتر | 650 ± 25 میکرومتر | ۱۰۰۰ ± ۲۵ میکرومتر |
| جهت گیری سطح | صفحه C (0001) زاویه خارج از محور M (10-10) 0.2 ± 0.1 درجه | ||
| صفحه C (0001) خارج از زاویه به سمت محور A (11-20) 0 ± 0.1 درجه | |||
| جهت گیری اولیه مسطح | صفحه A (11-20) ± 1.0 درجه | ||
| طول تخت اولیه | ۱۶.۰ ± ۱.۰ میلی‌متر | 30.0 ± 1.0 میلی‌متر | ۴۷.۵ ± ۲.۰ میلی‌متر |
| هواپیمای R | ساعت ۹ | ||
| پرداخت سطح جلویی | طرح دار | ||
| پرداخت سطح پشتی | SSP: ریزدانه، Ra = 0.8-1.2um؛ DSP: اپی-جلا، Ra <0.3nm | ||
| علامت گذاری لیزر | سمت عقب | ||
| تی تی وی | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| بو | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| وارپ | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| حذف لبه | ≤2 میلی‌متر | ||
| مشخصات الگو | ساختار شکل | گنبد، مخروط، هرم | |
| ارتفاع الگو | 1.6 ~ 1.8μm | ||
| قطر الگو | 2.75 ~ 2.85μm | ||
| فضای الگو | 0.1 ~ 0.3μm | ||
شرکت XKH در ارائه زیرلایه‌های یاقوت کبود طرح‌دار (PSS) با کیفیت بالا و سفارشی، به همراه پشتیبانی فنی و خدمات پس از فروش، تخصص دارد تا به مشتریان در دستیابی به نوآوری‌های کارآمد در زمینه LED، نمایشگر و اپتوالکترونیک کمک کند.
۱. تامین PSS با کیفیت بالا: زیرلایه‌های یاقوت کبود طرح‌دار در اندازه‌های مختلف (۲ اینچ، ۴ اینچ، ۶ اینچ) برای پاسخگویی به نیازهای دستگاه‌های LED، نمایشگر و اپتوالکترونیکی.
۲. طراحی سفارشی: ساختار میکرو-نانو سطحی (مانند مخروط، هرم یا آرایه شش ضلعی) را مطابق با نیاز مشتری سفارشی کنید تا راندمان استخراج نور بهینه شود.
۳. پشتیبانی فنی: ارائه طراحی برنامه PSS، بهینه‌سازی فرآیند و مشاوره فنی برای کمک به مشتریان در بهبود عملکرد محصول.
۴. پشتیبانی از رشد اپیتاکسیال: PSS همراه با ماده اپیتاکسیال GaN ارائه می‌شود تا رشد لایه اپیتاکسیال با کیفیت بالا تضمین شود.
5. آزمایش و صدور گواهینامه: گزارش بازرسی کیفیت PSS را ارائه دهید تا اطمینان حاصل شود که محصولات مطابق با استانداردهای صنعت هستند.
نمودار تفصیلی
