ویفر SiC نوع P 4H/6H-P 3C-N ضخامت 6 اینچ 350 میکرومتر با جهت مسطح اولیه
Specification4H/6H-P نوع SiC کامپوزیتی جدول پارامترهای رایج
6 زیرلایه کاربید سیلیکون (SiC) قطر اینچ مشخصات
| درجه | تولید صفر MPDدرجه (Z درجه) | تولید استاندارددرجه (P درجه) | درجه ساختگی (D درجه) | ||
| قطر | 145.5 میلی متر ~ 150.0 میلی متر | ||||
| ضخامت | 25 ± 350 میکرومتر | ||||
| جهت گیری ویفر | -Offمحور: 2.0°-4.0° به سمت [1120] ± 0.5° برای 4H/6H-P، در محور:〈111〉± 0.5° برای 3C-N | ||||
| تراکم میکرولوله | 0 سانتی متر-2 | ||||
| مقاومت | نوع p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| نوع n 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 متر Ωꞏ سانتی متر | |||
| جهت گیری مسطح اولیه | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0 درجه | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0 درجه | ||||
| طول تخت اولیه | 2.0 ± 32.5 میلی متر | ||||
| طول تخت ثانویه | 18.0 ± 2.0 میلی متر | ||||
| جهت گیری تخت ثانویه | سیلیکون رو به بالا: 90 درجه سانتی‌وات. از تخت نخست ± 5.0 درجه | ||||
| حذف لبه | 3 میلی متر | 6 میلی متر | |||
| LTV / TTV / کمان / Warp | ≤2.5μm/≤5μm/≤15μm/≤30μm | ≤10μm/≤15μm/≤25μm/≤40μm | |||
| زبری | لهستانی Ra≤1 نانومتر | ||||
| CMP Ra≤0.2 نانومتر | Ra≤0.5 نانومتر | ||||
| ترک لبه توسط نور با شدت بالا | هیچ کدام | طول تجمعی ≤ 10 میلی متر، تک طول ≤2 میلی متر | |||
| صفحات شش گوش با نور با شدت بالا | سطح تجمعی ≤0.05٪ | سطح تجمعی ≤0.1٪ | |||
| نواحی پلی تایپ با نور با شدت بالا | هیچ کدام | سطح تجمعی≤3٪ | |||
| اجزای کربن بصری | سطح تجمعی ≤0.05٪ | سطح تجمعی ≤3٪ | |||
| خراش های سطح سیلیکونی توسط نور با شدت بالا | هیچ کدام | طول تجمعی≤1×قطر ویفر | |||
| تراشه های لبه با شدت نور بالا | هیچ کدام بیش از 0.2 میلی متر عرض و عمق مجاز نیستند | 5 عدد مجاز، هر کدام ≤1 میلی متر | |||
| آلودگی سطحی سیلیکونی با شدت بالا | هیچ کدام | ||||
| بسته بندی | کاست چند ویفر یا ظرف ویفر تک | ||||
یادداشت ها:
※ محدودیت های نقص برای کل سطح ویفر به جز ناحیه حذف لبه اعمال می شود. # خراش ها باید روی Si face o بررسی شوند
ویفر SiC نوع P، 4H/6H-P 3C-N، با اندازه 6 اینچ و ضخامت 350 میکرومتر، نقش مهمی در تولید صنعتی الکترونیک قدرت با کارایی بالا ایفا می کند. هدایت حرارتی عالی و ولتاژ شکست بالا آن را برای ساخت قطعاتی مانند کلیدهای برق، دیودها و ترانزیستورهای مورد استفاده در محیط های با دمای بالا مانند وسایل نقلیه الکتریکی، شبکه های برق و سیستم های انرژی تجدیدپذیر ایده آل می کند. توانایی ویفر برای عملکرد کارآمد در شرایط سخت، عملکرد قابل اعتماد را در کاربردهای صنعتی که نیاز به چگالی توان بالا و کارایی انرژی دارند تضمین می کند. علاوه بر این، جهت گیری مسطح اولیه آن به تراز دقیق در طول ساخت دستگاه کمک می کند و کارایی تولید و ثبات محصول را افزایش می دهد.
مزایای زیرلایه های کامپوزیت SiC نوع N عبارتند از
- رسانایی حرارتی بالا: ویفرهای SiC نوع P به طور موثر گرما را از بین می برند و آنها را برای کاربردهای با دمای بالا ایده آل می کند.
- ولتاژ شکست بالا: قابلیت تحمل ولتاژ بالا، اطمینان از اطمینان در الکترونیک قدرت و دستگاه های ولتاژ بالا.
- مقاومت در برابر محیط های خشن: دوام عالی در شرایط شدید مانند دمای بالا و محیط های خورنده.
- تبدیل انرژی کارآمد: دوپینگ نوع P مدیریت کارآمد نیرو را تسهیل می کند و ویفر را برای سیستم های تبدیل انرژی مناسب می کند.
- جهت گیری مسطح اولیه: تراز دقیق را در طول ساخت تضمین می کند و دقت و ثبات دستگاه را بهبود می بخشد.
- ساختار نازک (350 میکرومتر): ضخامت بهینه ویفر از ادغام با دستگاه های الکترونیکی پیشرفته و دارای فضای محدود پشتیبانی می کند.
به طور کلی، ویفر SiC نوع P، 4H/6H-P 3C-N، طیف وسیعی از مزایایی را ارائه می دهد که آن را برای کاربردهای صنعتی و الکترونیکی بسیار مناسب می کند. رسانایی حرارتی بالا و ولتاژ شکست آن امکان عملکرد قابل اعتماد در محیط های با دمای بالا و ولتاژ بالا را فراهم می کند، در حالی که مقاومت آن در برابر شرایط سخت دوام را تضمین می کند. دوپینگ نوع P امکان تبدیل کارآمد توان را فراهم می کند و آن را برای الکترونیک قدرت و سیستم های انرژی ایده آل می کند. علاوه بر این، جهت گیری مسطح اولیه ویفر، تراز دقیق را در طول فرآیند تولید تضمین می کند و ثبات تولید را افزایش می دهد. با ضخامت 350 میکرومتر، برای ادغام در دستگاه های پیشرفته و فشرده مناسب است.
نمودار تفصیلی
