ویفر یاقوت کبود ۱۲ اینچی C-Plane SSP/DSP
معرفی جعبه ویفر
تولید ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی یک فرآیند پیچیده و تخصصی است. در اینجا به برخی از مراحل کلیدی در تولید ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی اشاره میکنیم:
آمادهسازی کریستال بذر: اولین قدم، تهیه یک کریستال بذر است که به عنوان الگویی برای رشد یاقوت کبود تک کریستال عمل میکند. کریستال بذر با دقت شکل داده شده و صیقل داده میشود تا از تراز مناسب و صافی سطح آن اطمینان حاصل شود.
ذوب اکسید آلومینیوم: اکسید آلومینیوم با خلوص بالا (Al2O3) در یک بوته ذوب میشود. این بوته معمولاً از پلاتین یا سایر مواد بیاثر ساخته میشود که میتوانند در برابر دماهای بالا مقاومت کنند.
رشد کریستال: سپس اکسید آلومینیوم ذوب شده با کریستال بذر آماده شده کاشته میشود و به آرامی در حالی که جو کنترل شدهای حفظ میشود، خنک میشود. این فرآیند به کریستال یاقوت کبود اجازه میدهد تا لایه به لایه رشد کند و یک شمش کریستالی واحد تشکیل دهد.
شکلدهی شمش: هنگامی که کریستال به اندازه دلخواه رسید، از بوته خارج شده و به شکل یک گلوله استوانهای درمیآید. سپس گلوله با دقت به ویفرهای نازک برش داده میشود.
پردازش ویفر: ویفرهای برش داده شده تحت فرآیندهای مختلفی قرار میگیرند تا به ضخامت، سطح نهایی و کیفیت مطلوب برسند. این فرآیندها شامل لایه گذاری، صیقل کاری و مسطح سازی شیمیایی-مکانیکی (CMP) برای حذف عیوب سطحی و دستیابی به صافی و همواری مورد نیاز است.
تمیز کردن و بازرسی: ویفرهای فرآوری شده تحت تمیزکاری کامل قرار میگیرند تا هرگونه آلودگی از بین برود. سپس از نظر عیوبی مانند ترک، خراش و ناخالصی بررسی میشوند.
بستهبندی و ارسال: در نهایت، ویفرهای بازرسیشده بستهبندی و برای ارسال به مشتریان آماده میشوند، که معمولاً در حاملهای ویفر که در حین حملونقل محافظت ایجاد میکنند، انجام میشود.
لازم به ذکر است که تولید ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی در مقایسه با ویفرهای کوچکتر ممکن است به تجهیزات و امکانات تخصصی نیاز داشته باشد. این فرآیند همچنین ممکن است شامل تکنیکهای پیشرفتهای مانند حذف لبهها و مدیریت تنش برای اطمینان از یکپارچگی و کیفیت ویفرهای بزرگتر باشد.
اگر به زیرلایههای یاقوت کبود نیاز دارید، لطفاً با ما تماس بگیرید:
ایمیل:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
ما در اسرع وقت به شما پاسخ خواهیم داد!
نمودار تفصیلی

