بازوی چنگالی سرامیکی آلومینا با عملکرد بالا برای نیمه‌هادی‌ها و اتوماسیون اتاق تمیز

شرح مختصر:

ابزار انتهایی سرامیکی آلومینا، که به عنوان بازوی چنگال سرامیکی یا دست سرامیکی رباتیک نیز شناخته می‌شود، یک قطعه جابجایی با دقت بالا است که برای سیستم‌های خودکار در محیط‌های نیمه‌هادی، فتوولتائیک، نمایشگرهای پنلی و آزمایشگاه‌های با خلوص بالا طراحی شده است. این قطعه به گونه‌ای مهندسی شده است که پایداری حرارتی استثنایی، استحکام مکانیکی و مقاومت شیمیایی را فراهم کند و حمل و نقل تمیز، قابل اعتماد و ایمن مواد حساس مانند ویفرهای سیلیکونی، زیرلایه‌های شیشه‌ای و میکروقطعات الکترونیکی را ارائه دهد.

برای ما ایمیل ارسال کنید

ویژگی‌ها

نمودار تفصیلی

معرفی محصول

این قطعه سرامیکی به عنوان نوعی از عملگر نهایی رباتیک، رابط نهایی بین سیستم اتوماسیون و قطعه کار است و نقش مهمی در انتقال دقیق، ترازبندی، بارگیری/تخلیه بار و وظایف موقعیت‌یابی در اتاق‌های تمیز و محیط‌های خلاء ایفا می‌کند.

بازوی سرامیکی برای درایو ویفر نیمه‌هادی‌ها-G13

بازوی سرامیکی برای درایو ویفر نیمه‌هادی‌ها-G10

بازوی سرامیکی برای درایو ویفر نیمه‌هادی‌ها-G07

بررسی اجمالی مواد - سرامیک آلومینا (Al₂O₃)

سرامیک آلومینا یک ماده سرامیکی فنی بسیار پایدار و از نظر شیمیایی بی‌اثر است که به دلیل خواص مکانیکی و الکتریکی عالی خود شناخته شده است. آلومینای با خلوص بالا (≥ 99.5٪) مورد استفاده در این اجزای نهایی، موارد زیر را تضمین می‌کند:

سختی بالا (Mohs 9): آلومینا پس از الماس، مقاومت سایشی بسیار بالایی دارد.
قابلیت تحمل دمای بالا: حفظ یکپارچگی ساختاری در دمای بالاتر از ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد.
بی‌اثری شیمیاییمقاوم در برابر اسیدها، قلیاها، حلال‌ها و محیط‌های اچینگ پلاسما.
عایق الکتریکی: با استحکام دی الکتریک بالا و تلفات دی الکتریک کم.
انبساط حرارتی کم: تضمین ثبات ابعادی در محیط‌های چرخه حرارتی.
تولید ذرات کمضروری برای سازگاری با اتاق تمیز (کلاس 10 تا کلاس 1000).

این ویژگی‌ها، سرامیک آلومینا را برای عملیات حیاتی در صنایع حساس به آلودگی ایده‌آل می‌کند.

کاربردهای کاربردی

ابزار نهایی سرامیکی آلومینا به طور گسترده در فرآیندهای صنعتی پیشرفته، به ویژه در مواردی که مواد فلزی یا پلاستیکی سنتی به دلیل انبساط حرارتی، آلودگی یا خوردگی کارایی لازم را ندارند، مورد استفاده قرار می‌گیرد. زمینه‌های کاربردی کلیدی عبارتند از:

انتقال ویفر نیمه‌هادی
سیستم‌های بارگیری و تخلیه فتولیتوگرافی
کار با زیرلایه شیشه‌ای در خطوط تولید OLED و LCD
انتقال ویفر سیلیکون بلوری در تولید سلول خورشیدی
بازرسی خودکار نوری یا میکروالکترونیکی
حمل نمونه در آزمایشگاه‌های تحلیلی یا زیست‌پزشکی
سیستم‌های اتوماسیون محیط خلاء

توانایی آن در انجام کار بدون ایجاد ذرات یا بار ساکن، آن را برای عملیات دقیق رباتیک در اتوماسیون اتاق تمیز ضروری می‌کند.

ویژگی‌های طراحی و سفارشی‌سازی

هر عامل انتهایی سرامیکی برای تناسب با یک بازوی رباتیک خاص یا سیستم جابجایی ویفر مهندسی شده است. ما از سفارشی‌سازی کامل بر اساس موارد زیر پشتیبانی می‌کنیم:

سازگاری اندازه ویفر: ۲، ۴، ۶، ۸، ۱۲ اینچ و بیشتر
هندسه و فاصله‌گذاری اسلات: دارای قابلیت گرفتن لبه، پشتیبانی از پشت یا طرح‌های ویفر شیاردار
پورت‌های مکشسوراخ‌ها یا کانال‌های خلاء یکپارچه برای جابجایی بدون تماس
پیکربندی نصبسوراخ‌ها، رزوه‌ها، شیارهای متناسب با فلنج ابزار انتهایی ربات شما
درمان سطحیپرداخت صیقلی، صیقلی یا سنگ‌زنی ریز (Ra < 0.2 µm موجود است)
محافظت از لبهگوشه‌های گرد یا پخ زدن برای جلوگیری از آسیب به ویفر

با استفاده از نقشه‌های CAD یا مدل‌های سه‌بعدی ارائه شده توسط مشتریان، مهندسان ما می‌توانند هر بازوی چنگال را از نظر وزن، استحکام و تمیزی بهینه کنند.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

مزایای افکتورهای انتهایی سرامیکی

ویژگی	فایده
استحکام مکانیکی بالا	دقت ابعادی را تحت نیروهای بارگذاری رباتیک حفظ می‌کند
عملکرد حرارتی عالی	عملکرد قابل اعتماد در محیط‌های با دمای بالا یا پلاسما
بدون آلودگی فلزی	بدون خطر آلودگی یونی در پردازش نیمه‌هادی‌های حیاتی
سطح کم اصطکاک	کاهش خطر خراش روی زیرلایه‌های ویفر یا شیشه
ضد الکتریسیته ساکن و غیر مغناطیسی	گرد و غبار را جذب نمی‌کند و بر اجزای حساس به مغناطیسی تأثیر نمی‌گذارد
عمر طولانی	مقاومت سایشی عالی در چرخه‌های اتوماسیون پرسرعت و تکراری
سازگاری فوق‌العاده تمیز	مناسب برای اتاق‌های تمیز ISO 14644 (کلاس 100 و پایین‌تر)

در مقایسه با بازوهای پلاستیکی یا آلومینیومی، سرامیک آلومینا پایداری شیمیایی و فیزیکی به طور چشمگیری بهبود یافته و نیازهای نگهداری آن به حداقل می‌رسد.

ملک	بازوی فلزی	بازوی پلاستیکی	بازوی سرامیکی آلومینا
سختی	متوسط	کم	بسیار بالا (9 موهس)
پایداری حرارتی	≤ ۵۰۰ درجه سانتی‌گراد	≤ ۱۵۰ درجه سانتی‌گراد	≥ ۱۶۰۰ درجه سانتی‌گراد
مقاومت شیمیایی	متوسط	ضعیف	عالی
مناسب بودن برای اتاق تمیز	متوسط	کم	بسیار بالا
مقاومت در برابر سایش	متوسط	کم	برجسته
مقاومت دی الکتریک	کم	متوسط	بالا
دقت ماشینکاری سفارشی	محدود	متوسط	بالا (±0.01 میلی‌متر ممکن)

مشخصات فنی

پارامتر	ارزش
مواد	آلومینای با خلوص بالا (≥ 99.5%)
دمای کار	تا ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد
زبری سطح	Ra ≤ 0.2 µm (اختیاری)
اندازه‌های ویفر سازگار	۲ تا ۱۲ اینچ یا سفارشی
تحمل صافی	±0.01 میلی‌متر (بسته به کاربرد)
پشتیبانی مکش خلاء	کانال‌های اختیاری و قابل تنظیم
گزینه‌های نصب	پیچ و مهره، فلنج، سوراخ های شیاردار

سوالات متداول (FAQ)

سوال ۱: آیا می‌توان ربات اجرایی نهایی را در سیستم‌های رباتیک موجود ادغام کرد؟
الف۱:بله. ما از سفارشی‌سازی بر اساس رابط رباتیک شما پشتیبانی می‌کنیم. می‌توانید برای تطبیق دقیق، نقشه CAD یا ابعاد فلنج را برای ما ارسال کنید.

Q2: آیا بازوهای سرامیکی در حین استفاده به راحتی می‌شکنند؟
الف۲:اگرچه سرامیک ذاتاً شکننده است، اما طرح‌های ما از هندسه بهینه‌شده برای به حداقل رساندن تمرکز تنش استفاده می‌کنند. در شرایط استفاده مناسب، آنها عمر مفید بسیار طولانی‌تری نسبت به فلز یا پلاستیک ارائه می‌دهند.

س ۳: آیا استفاده از این دستگاه در محفظه‌های خلأ فوق بالا یا حکاکی پلاسما امکان‌پذیر است؟
الف۳:بله. سرامیک آلومینا گاز تولید نمی‌کند، از نظر حرارتی پایدار و در برابر خوردگی مقاوم است - کاملاً مناسب برای محیط‌های خلاء بالا، گازهای واکنش‌پذیر یا پلاسما.

Q4: این اجزا چگونه تمیز یا نگهداری می‌شوند؟
الف۴:آنها را می‌توان با آب دیونیزه، الکل یا مواد شوینده سازگار با اتاق تمیز تمیز کرد. به دلیل پایداری شیمیایی و سطح خنثی آنها، نیازی به نگهداری خاصی نیست.

درباره ما

شرکت XKH در زمینه توسعه، تولید و فروش شیشه‌های نوری ویژه و مواد کریستالی جدید با فناوری پیشرفته تخصص دارد. محصولات ما در زمینه الکترونیک نوری، لوازم الکترونیکی مصرفی و نظامی کاربرد دارند. ما قطعات نوری یاقوت کبود، پوشش‌های لنز تلفن همراه، سرامیک، LT، سیلیکون کاربید SIC، کوارتز و ویفرهای کریستالی نیمه‌هادی ارائه می‌دهیم. با تخصص ماهرانه و تجهیزات پیشرفته، ما در پردازش محصولات غیر استاندارد سرآمد هستیم و هدفمان تبدیل شدن به یک شرکت پیشرو در زمینه مواد نوری-الکترونیکی با فناوری پیشرفته است.