ویفر سیلیکونی FZ CZ موجود در انبار ویفر سیلیکونی ۱۲ اینچی پرایم یا تست

ویفرهای صیقل داده شده

ویفرهای سیلیکونی که به طور ویژه از دو طرف صیقل داده شده‌اند تا سطحی آینه‌ای به دست آورند. ویژگی‌های برتر مانند خلوص و صافی، بهترین ویژگی‌های این ویفر را تعریف می‌کنند.

ویفرهای سیلیکونی بدون آلایش

آنها همچنین به عنوان ویفرهای سیلیکونی ذاتی شناخته می‌شوند. این نیمه‌رسانا یک شکل کریستالی خالص از سیلیکون بدون حضور هیچ گونه ناخالصی در سراسر ویفر است، بنابراین آن را به یک نیمه‌رسانای ایده‌آل و بی‌نقص تبدیل می‌کند.

ویفرهای سیلیکونی آلاییده شده

نوع N و نوع P دو نوع ویفر سیلیکونی آلاییده هستند.

ویفرهای سیلیکونی آلاییده شده با نوع N حاوی آرسنیک یا فسفر هستند. این ماده به طور گسترده در ساخت دستگاه‌های پیشرفته CMOS استفاده می‌شود.

ویفرهای سیلیکونی نوع P آلاییده شده با بور. عمدتاً برای ساخت مدارهای چاپی یا لیتوگرافی نوری استفاده می‌شود.

ویفرهای اپیتاکسیال

ویفرهای اپیتاکسیال، ویفرهای مرسومی هستند که برای دستیابی به یکپارچگی سطح استفاده می‌شوند. ویفرهای اپیتاکسیال در ویفرهای ضخیم و نازک موجود هستند.

ویفرهای اپیتاکسیال چندلایه و ویفرهای اپیتاکسیال ضخیم نیز برای تنظیم مصرف انرژی و کنترل توان دستگاه‌ها استفاده می‌شوند.

ویفرهای اپیتاکسیال نازک معمولاً در ابزارهای MOS برتر استفاده می‌شوند.

ویفرهای SOI

این ویفرها برای عایق الکتریکی لایه‌های ظریف سیلیکون تک کریستالی از کل ویفر سیلیکونی استفاده می‌شوند. ویفرهای SOI معمولاً در فوتونیک سیلیکونی و کاربردهای RF با کارایی بالا استفاده می‌شوند. ویفرهای SOI همچنین برای کاهش ظرفیت خازنی دستگاه‌های پارازیتی در دستگاه‌های میکروالکترونیک استفاده می‌شوند که به بهبود عملکرد کمک می‌کند.

چرا ساخت ویفر دشوار است؟

برش ویفرهای سیلیکونی ۱۲ اینچی از نظر بازده بسیار دشوار است. اگرچه سیلیکون سخت است، اما شکننده نیز هست. با تمایل لبه‌های ویفر اره شده به شکستن، نواحی ناهموار ایجاد می‌شود. از دیسک‌های الماس برای صاف کردن لبه‌های ویفر و از بین بردن هرگونه آسیب استفاده می‌شود. پس از برش، ویفرها به راحتی می‌شکنند زیرا اکنون لبه‌های تیزی دارند. لبه‌های ویفر به گونه‌ای طراحی شده‌اند که لبه‌های شکننده و تیز از بین رفته و احتمال لغزش کاهش می‌یابد. در نتیجه عملیات شکل‌دهی لبه، قطر ویفر تنظیم می‌شود، ویفر گرد می‌شود (پس از برش، ویفر بریده شده بیضی شکل است) و بریدگی‌ها یا صفحات جهت‌دار ساخته یا اندازه‌گذاری می‌شوند.