دستگاه مربعی دو ایستگاهه، پردازش میله سیلیکونی تک کریستالی، صافی سطح 6/8/12 اینچ، Ra≤0.5μm
مشخصات تجهیزات:
(1) پردازش همزمان دو ایستگاهی
· راندمان دو برابر: پردازش همزمان دو میله سیلیکونی (Ø6"-12") در مقایسه با تجهیزات سیمپلکس، بهرهوری را 40٪-60٪ افزایش میدهد.
· کنترل مستقل: هر ایستگاه میتواند پارامترهای برش (کشش، سرعت پیشروی) را به طور مستقل تنظیم کند تا با مشخصات مختلف میله سیلیکونی سازگار شود.
(2) برش با دقت بالا
· دقت ابعادی: تلرانس فاصله ضلع میله مربع ±0.15 میلیمتر، محدوده ≤0.20 میلیمتر.
· کیفیت سطح: شکستگی لبه برش کمتر از 0.5 میلیمتر، میزان سنگزنی بعدی را کاهش میدهد.
(3) کنترل هوشمند
· برش تطبیقی: نظارت بلادرنگ بر مورفولوژی میله سیلیکونی، تنظیم دینامیکی مسیر برش (مانند پردازش میله سیلیکونی خمیده).
· قابلیت ردیابی دادهها: پارامترهای پردازش هر میله سیلیکونی را برای پشتیبانی از اتصال سیستم MES ثبت کنید.
(4) هزینه مصرفی پایین
· مصرف سیم الماسه: ≤0.06m/mm (طول میله سیلیکونی)، قطر سیم ≤0.30mm.
· گردش مایع خنککننده: سیستم فیلتراسیون طول عمر دستگاه را افزایش داده و دفع مایعات زائد را کاهش میدهد.
مزایای فناوری و توسعه:
(1) بهینهسازی فناوری برش
- برش چند خطی: 100 تا 200 خط الماسه به صورت موازی استفاده میشوند و سرعت برش ≥40 میلیمتر در دقیقه است.
- کنترل کشش: سیستم تنظیم حلقه بسته (±1N) برای کاهش خطر پارگی سیم.
(2) افزونه سازگاری
- سازگاری با مواد: پشتیبانی از سیلیکون تکبلوری نوع P/N، سازگار با TOPCon، HJT و سایر میلههای سیلیکونی باتری با راندمان بالا.
- اندازه انعطافپذیر: طول میله سیلیکونی ۱۰۰-۹۵۰ میلیمتر، فاصله دو طرف میله مربعی ۱۶۶-۲۳۳ میلیمتر قابل تنظیم.
(3) ارتقاء اتوماسیون
- بارگیری و تخلیه بار توسط ربات: بارگیری/تخلیه خودکار میلههای سیلیکونی، زمان تقریبی ≤3 دقیقه.
- تشخیص هوشمند: نگهداری پیشبینانه برای کاهش زمان از کارافتادگی برنامهریزی نشده.
(4) رهبری صنعت
- پشتیبانی از ویفر: میتواند سیلیکون فوق نازک ≥100μm با میلههای مربعی را پردازش کند، نرخ قطعه قطعه شدن <0.5٪.
- بهینهسازی مصرف انرژی: مصرف انرژی به ازای هر واحد میله سیلیکونی 30 درصد کاهش مییابد (در مقابل تجهیزات سنتی).
پارامترهای فنی:
نام پارامتر | مقدار شاخص |
تعداد شمشهای فرآوری شده | ۲ عدد/مجموعه |
محدوده طول نوار پردازش | ۱۰۰ تا ۹۵۰ میلیمتر |
محدوده حاشیه ماشینکاری | ۱۶۶ تا ۲۳۳ میلیمتر |
سرعت برش | ≥40 میلیمتر در دقیقه |
سرعت سیم الماسه | 0 تا 35 متر بر ثانیه |
قطر الماس | ۰.۳۰ میلیمتر یا کمتر |
مصرف خطی | ۰.۰۶ متر بر میلیمتر یا کمتر |
قطر میله گرد سازگار | قطر میله مربعی تمام شده +2 میلیمتر، از نرخ عبور پولیش اطمینان حاصل کنید |
کنترل شکستگی با لبه برش | لبه خام ≤0.5 میلیمتر، بدون لبپریدگی، کیفیت سطح بالا |
یکنواختی طول قوس | محدوده تصویر <1.5 میلیمتر، به جز اعوجاج میله سیلیکونی |
ابعاد دستگاه (تک دستگاه) | ۴۸۰۰ × ۳۰۲۰ × ۳۶۶۰ میلیمتر |
توان نامی کل | ۵۶ کیلووات |
وزن مرده تجهیزات | ۱۲ تن |
جدول شاخص دقت ماشینکاری:
مورد دقیق | محدوده تحمل |
تلرانس حاشیه مربعی | ±0.15 میلیمتر |
محدوده لبه مربعی | ≤0.20 میلیمتر |
زاویه در همه اضلاع میله مربعی | ۹۰ درجه ± ۰.۰۵ درجه |
مسطح بودن میله مربعی | ≤0.15 میلیمتر |
دقت موقعیتیابی مکرر ربات | ±0.05 میلیمتر |
خدمات XKH:
XKH خدمات چرخه کامل را برای ماشینهای دو ایستگاهه سیلیکونی تک کریستالی ارائه میدهد، از جمله سفارشیسازی تجهیزات (سازگار با میلههای سیلیکونی بزرگ)، راهاندازی فرآیند (بهینهسازی پارامترهای برش)، آموزش عملیاتی و پشتیبانی پس از فروش (تامین قطعات کلیدی، تشخیص از راه دور)، اطمینان از دستیابی مشتریان به بازده بالا (>99%) و تولید با هزینه مصرفی پایین، و ارائه ارتقاء فنی (مانند بهینهسازی برش با هوش مصنوعی). دوره تحویل 2 تا 4 ماه است.
نمودار تفصیلی



