Dia300x1.0mmt ویفر یاقوت کبود C-Plane SSP/DSP
معرفی جعبه ویفر
مواد کریستالی | 99999% Al2O3، خلوص بالا، تک کریستالی، Al2O3 | |||
کیفیت کریستال | شامل، علائم بلوک، دوقلوها، رنگ، میکرو حباب ها و مراکز پراکندگی وجود ندارد | |||
قطر | 2 اینچ | 3 اینچ | 4 اینچ | 6 اینچ الی 12 اینچ |
0.1 ± 50.8 میلی متر | 0.2±76.2 میلی متر | 100±0.3 میلی متر | مطابق با مفاد تولید استاندارد | |
ضخامت | 15±430 میکرومتر | 15±550 میکرومتر | 20±650 میکرومتر | قابل سفارشی سازی توسط مشتری |
جهت گیری | صفحه C (0001) به M-plane (1-100) یا A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°، R-plane (1-1 0 2)، A-plane (1 1-2 0)، M-plane (1-1 0 0)، هر جهت، هر زاویه | |||
طول تخت اولیه | 16.0±1 میلی متر | 22.0±1.0 میلی متر | 32.5±1.5 میلی متر | مطابق با مفاد تولید استاندارد |
جهت گیری مسطح اولیه | A-plane (1 1-2 0 ) ± 0.2 درجه | |||
تی تی وی | ≤10μm | ≤15 میکرومتر | ≤20μm | ≤30 میکرومتر |
LTV | ≤10μm | ≤15 میکرومتر | ≤20μm | ≤30 میکرومتر |
TIR | ≤10μm | ≤15 میکرومتر | ≤20μm | ≤30 میکرومتر |
تعظیم | ≤10μm | ≤15 میکرومتر | ≤20μm | ≤30 میکرومتر |
پیچ و تاب | ≤10μm | ≤15 میکرومتر | ≤20μm | ≤30 میکرومتر |
سطح جلو | Epi-Polished (Ra<0.2nm) |
* کمان: انحراف نقطه مرکزی سطح میانی یک ویفر آزاد و بدون گیره از صفحه مرجع، که در آن صفحه مرجع با سه گوشه یک مثلث متساوی الاضلاع مشخص می شود.
*Warp: تفاوت بین حداکثر و حداقل فاصله سطح میانی یک ویفر آزاد و بدون گیره از صفحه مرجع تعریف شده در بالا.
محصولات و خدمات با کیفیت بالا برای دستگاه های نیمه هادی نسل بعدی و رشد همپایه:
درجه صافی بالا (TTV کنترل شده، کمان، تار و غیره)
تمیز کردن با کیفیت بالا (آلودگی ذرات کم، آلودگی کم فلز)
حفاری بستر، شیار کاری، برش و پرداخت پشتی
پیوست داده هایی مانند تمیزی و شکل زیرلایه (اختیاری)
اگر به زیرلایه های یاقوت کبود نیاز دارید، لطفا با ما تماس بگیرید:
پست الکترونیک:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
ما در اسرع وقت به شما باز خواهیم گشت!
نمودار تفصیلی
پیام خود را اینجا بنویسید و برای ما ارسال کنید