ویفر یاقوت کبود با ضخامت Dia300x1.0mmt، صفحه C شکل SSP/DSP

شرح مختصر:

شرکت مواد جدید شانگهای شینکه‌هویی می‌تواند ویفرهای یاقوت کبود با جهت‌گیری‌های سطحی مختلف (صفحه c، r، a و m) تولید کند و زاویه برش را با دقت 0.1 درجه کنترل کند. با استفاده از فناوری اختصاصی خود، می‌توانیم به کیفیت بالای مورد نیاز برای کاربردهایی مانند رشد اپیتاکسیال و اتصال ویفر دست یابیم.


ویژگی‌ها

پارامتر

تصویر واقعی

کاربرد

پرسش و پاسخ

معرفی جعبه ویفر

مواد کریستالی ۹۹.۹۹۹٪ Al2O3، خلوص بالا، تک بلوری، Al2O3
کیفیت کریستال ناخالصی‌ها، علائم بلوکی، دوقلوها، رنگ، میکروحباب‌ها و مراکز پراکندگی وجود ندارند
قطر ۲ اینچ ۳ اینچ ۴ اینچ ۶ اینچ تا ۱۲ اینچ
۵۰.۸± ۰.۱ میلی‌متر ۷۶.۲±۰.۲ میلی‌متر ۱۰۰±۰.۳ میلی‌متر مطابق با مفاد استاندارد تولید
ضخامت ۴۳۰±۱۵ میکرومتر ۵۵۰±۱۵ میکرومتر 650±20 میکرومتر قابل تنظیم توسط مشتری
جهت گیری صفحه C (0001) به صفحه M (1-100) یا صفحه A (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°، صفحه R (1-1 0 2)، صفحه A (1 1-2 0)، صفحه M (1-1 0 0)، هر جهتی، هر زاویه‌ای
طول مسطح اولیه ۱۶.۰±۱ میلی‌متر ۲۲.۰±۱.۰ میلی‌متر ۳۲.۵±۱.۵ میلی‌متر مطابق با مفاد استاندارد تولید
جهت گیری مسطح اولیه صفحه A (1 1-2 0) ± 0.2 درجه      
تی تی وی ≤10 میکرومتر ≤15μm ≤20 میکرومتر ≤30 میکرومتر
LTV ≤10 میکرومتر ≤15μm ≤20 میکرومتر ≤30 میکرومتر
تیر ≤10 میکرومتر ≤15μm ≤20 میکرومتر ≤30 میکرومتر
بو ≤10 میکرومتر ≤15μm ≤20 میکرومتر ≤30 میکرومتر
وارپ ≤10 میکرومتر ≤15μm ≤20 میکرومتر ≤30 میکرومتر
سطح جلویی اپی-پولیش (Ra <0.2nm)

*کمان: انحراف نقطه مرکزی سطح میانی یک ویفر آزاد و بدون گیره از صفحه مرجع، که در آن صفحه مرجع توسط سه گوشه یک مثلث متساوی الاضلاع تعریف می‌شود.

*تاب: تفاوت بین حداکثر و حداقل فاصله سطح میانی یک ویفر آزاد و بدون گیره از صفحه مرجع تعریف شده در بالا.

محصولات و خدمات با کیفیت بالا برای دستگاه‌های نیمه‌هادی نسل بعدی و رشد اپیتاکسیال:

درجه بالای صافی (TTV کنترل‌شده، کمان، تاب و غیره)

تمیز کردن با کیفیت بالا (آلودگی کم ذرات، آلودگی کم فلزات)

سوراخکاری، شیارزنی، برش و پرداختکاری از پشت سطح

پیوست کردن داده‌هایی مانند تمیزی و شکل زیرلایه (اختیاری)

اگر به زیرلایه‌های یاقوت کبود نیاز دارید، لطفاً با ما تماس بگیرید:

ایمیل:eric@xkh-semitech.com‎+86 158 0194 2596 /‎doris@xkh-semitech.com‎+86 187 0175 6522‎

ما در اسرع وقت به شما پاسخ خواهیم داد!

نمودار تفصیلی

وی سی اس (2)
وی سی اس (1)

  • قبلی:
  • بعدی:

  • پیام خود را اینجا بنویسید و برای ما ارسال کنید