ویفر یاقوت کبود با ضخامت Dia300x1.0mmt، صفحه C شکل SSP/DSP
معرفی جعبه ویفر
مواد کریستالی | ۹۹.۹۹۹٪ Al2O3، خلوص بالا، تک بلوری، Al2O3 | |||
کیفیت کریستال | ناخالصیها، علائم بلوکی، دوقلوها، رنگ، میکروحبابها و مراکز پراکندگی وجود ندارند | |||
قطر | ۲ اینچ | ۳ اینچ | ۴ اینچ | ۶ اینچ تا ۱۲ اینچ |
۵۰.۸± ۰.۱ میلیمتر | ۷۶.۲±۰.۲ میلیمتر | ۱۰۰±۰.۳ میلیمتر | مطابق با مفاد استاندارد تولید | |
ضخامت | ۴۳۰±۱۵ میکرومتر | ۵۵۰±۱۵ میکرومتر | 650±20 میکرومتر | قابل تنظیم توسط مشتری |
جهت گیری | صفحه C (0001) به صفحه M (1-100) یا صفحه A (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°، صفحه R (1-1 0 2)، صفحه A (1 1-2 0)، صفحه M (1-1 0 0)، هر جهتی، هر زاویهای | |||
طول مسطح اولیه | ۱۶.۰±۱ میلیمتر | ۲۲.۰±۱.۰ میلیمتر | ۳۲.۵±۱.۵ میلیمتر | مطابق با مفاد استاندارد تولید |
جهت گیری مسطح اولیه | صفحه A (1 1-2 0) ± 0.2 درجه | |||
تی تی وی | ≤10 میکرومتر | ≤15μm | ≤20 میکرومتر | ≤30 میکرومتر |
LTV | ≤10 میکرومتر | ≤15μm | ≤20 میکرومتر | ≤30 میکرومتر |
تیر | ≤10 میکرومتر | ≤15μm | ≤20 میکرومتر | ≤30 میکرومتر |
بو | ≤10 میکرومتر | ≤15μm | ≤20 میکرومتر | ≤30 میکرومتر |
وارپ | ≤10 میکرومتر | ≤15μm | ≤20 میکرومتر | ≤30 میکرومتر |
سطح جلویی | اپی-پولیش (Ra <0.2nm) |
*کمان: انحراف نقطه مرکزی سطح میانی یک ویفر آزاد و بدون گیره از صفحه مرجع، که در آن صفحه مرجع توسط سه گوشه یک مثلث متساوی الاضلاع تعریف میشود.
*تاب: تفاوت بین حداکثر و حداقل فاصله سطح میانی یک ویفر آزاد و بدون گیره از صفحه مرجع تعریف شده در بالا.
محصولات و خدمات با کیفیت بالا برای دستگاههای نیمههادی نسل بعدی و رشد اپیتاکسیال:
درجه بالای صافی (TTV کنترلشده، کمان، تاب و غیره)
تمیز کردن با کیفیت بالا (آلودگی کم ذرات، آلودگی کم فلزات)
سوراخکاری، شیارزنی، برش و پرداختکاری از پشت سطح
پیوست کردن دادههایی مانند تمیزی و شکل زیرلایه (اختیاری)
اگر به زیرلایههای یاقوت کبود نیاز دارید، لطفاً با ما تماس بگیرید:
ایمیل:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
ما در اسرع وقت به شما پاسخ خواهیم داد!
نمودار تفصیلی


محصولات مرتبط
پیام خود را اینجا بنویسید و برای ما ارسال کنید