ویفر AlN-on-NPSS: لایه نیترید آلومینیوم با کارایی بالا روی زیرلایه یاقوت کبود صیقل‌نخورده برای کاربردهای دما بالا، توان بالا و RF
ویژگی‌ها
لایه AlN با کارایی بالانیترید آلومینیوم (AlN) به دلیل ... شناخته شده است.رسانایی حرارتی بالا(حدود ۲۰۰ وات بر متر مکعب در کلوین)،شکاف باند وسیع، وولتاژ شکست بالاو آن را به ماده‌ای ایده‌آل برایپرقدرت, فرکانس بالا، ودمای بالابرنامه های کاربردی.
زیرلایه یاقوت کبود صیقل داده نشده (NPSS)یاقوت کبود صیقل داده نشده،مقرون به صرفه, از نظر مکانیکی مقاومپایه، تضمین یک پایه پایدار برای رشد اپیتاکسیال بدون پیچیدگی صیقل دادن سطح. خواص مکانیکی عالی NPSS آن را برای محیط‌های چالش‌برانگیز بادوام می‌کند.
پایداری حرارتی بالاویفر AlN-on-NPSS می‌تواند نوسانات شدید دما را تحمل کند، که آن را برای استفاده در موارد زیر مناسب می‌سازد:الکترونیک قدرت, سیستم‌های خودرو, ال‌ای‌دی‌ها، وکاربردهای نوریکه نیاز به عملکرد پایدار در شرایط دمای بالا دارند.
عایق الکتریکیAlN خواص عایق الکتریکی بسیار خوبی دارد و آن را برای کاربردهایی که ...ایزولاسیون الکتریکیحیاتی است، از جملهدستگاه‌های آر افوقطعات الکترونیکی مایکروویو.
اتلاف حرارت برترلایه AlN با رسانایی حرارتی بالا، اتلاف حرارت مؤثر را تضمین می‌کند که برای حفظ عملکرد و طول عمر دستگاه‌هایی که تحت توان و فرکانس بالا کار می‌کنند، ضروری است.
پارامترهای فنی
| پارامتر | مشخصات |
| قطر ویفر | ۲ اینچ، ۴ اینچ (اندازه‌های سفارشی موجود است) |
| نوع بستر | زیرلایه یاقوت کبود صیقل داده نشده (NPSS) |
| ضخامت لایه AlN | ۲ میکرومتر تا ۱۰ میکرومتر (قابل تنظیم) |
| ضخامت بستر | ۴۳۰ میکرومتر ± ۲۵ میکرومتر (برای ۲ اینچ)، ۵۰۰ میکرومتر ± ۲۵ میکرومتر (برای ۴ اینچ) |
| رسانایی حرارتی | ۲۰۰ وات بر متر مکعب بر کلوین |
| مقاومت الکتریکی | عایق‌بندی بالا، مناسب برای کاربردهای RF |
| زبری سطح | Ra ≤ 0.5μm (برای لایه AlN) |
| خلوص مواد | AlN با خلوص بالا (99.9٪) |
| رنگ | سفید/سفید مایل به کرم (لایه AlN با زیرلایه NPSS با رنگ روشن) |
| تاب ویفر | <30μm (معمولی) |
| نوع دوپینگ | بدون دوپ (قابل تنظیم است) |
کاربردها
ویفر AlN-on-NPSSبرای طیف گسترده‌ای از کاربردهای با کارایی بالا در صنایع مختلف طراحی شده است:
الکترونیک پرقدرترسانایی حرارتی بالا و خواص عایق لایه AlN، آن را به ماده‌ای ایده‌آل برای ... تبدیل کرده است.ترانزیستورهای قدرت, یکسو کننده ها، وآی سی های تغذیهمورد استفاده درخودرو, صنعتی، وانرژی تجدیدپذیرسیستم‌ها.
قطعات فرکانس رادیویی (RF)خواص عایق الکتریکی عالی AlN، همراه با تلفات کم آن، تولید ... را امکان‌پذیر می‌سازد.ترانزیستورهای RF, ترانزیستورهای با تحرک الکترونی بالا (HEMT)، و موارد دیگراجزای مایکروویوکه در فرکانس‌ها و سطوح توان بالا به طور مؤثر عمل می‌کنند.
دستگاه‌های نوریویفرهای AlN-on-NPSS در موارد زیر استفاده می‌شوند:دیودهای لیزری, ال‌ای‌دی‌ها، وآشکارسازهای نوری، جایی کهرسانایی حرارتی بالاواستحکام مکانیکیبرای حفظ عملکرد در طول عمر طولانی ضروری هستند.
سنسورهای دمای بالاتوانایی ویفر در تحمل گرمای شدید، آن را برای موارد زیر مناسب می‌کند:سنسورهای دماوپایش محیطیدر صنایعی مانندهوافضا, خودرو، ونفت و گاز.
بسته‌بندی نیمه‌هادیمورد استفاده در پخش کننده های گرماولایه‌های مدیریت حرارتیدر سیستم‌های بسته‌بندی، تضمین قابلیت اطمینان و کارایی نیمه‌هادی‌ها.
پرسش و پاسخ
س: مزیت اصلی ویفرهای AlN-on-NPSS نسبت به مواد سنتی مانند سیلیکون چیست؟
الف) مزیت اصلی AlN استرسانایی حرارتی بالاکه به آن اجازه می‌دهد گرما را به طور موثر از بین ببرد، و آن را برای موارد زیر ایده‌آل می‌کندپرقدرتوکاربردهای فرکانس بالاجایی که مدیریت گرما بسیار مهم است. علاوه بر این، AlN دارایشکاف باند وسیعو عالیعایق الکتریکی، و آن را برای استفاده در موارد زیر برتر می‌کندRFودستگاه‌های مایکروویودر مقایسه با سیلیکون سنتی.
س: آیا می‌توان لایه AlN روی ویفرهای NPSS را سفارشی‌سازی کرد؟
الف) بله، لایه AlN را می‌توان از نظر ضخامت (از 2 میکرومتر تا 10 میکرومتر یا بیشتر) برای برآوردن نیازهای خاص کاربرد شما سفارشی‌سازی کرد. ما همچنین سفارشی‌سازی را از نظر نوع دوپینگ (نوع N یا نوع P) و لایه‌های اضافی برای عملکردهای تخصصی ارائه می‌دهیم.
س: کاربرد معمول این ویفر در صنعت خودرو چیست؟
الف) در صنعت خودرو، ویفرهای AlN-on-NPSS معمولاً در موارد زیر استفاده می‌شوند:الکترونیک قدرت, سیستم‌های روشنایی ال‌ای‌دی، وسنسورهای دماآنها مدیریت حرارتی و عایق الکتریکی برتر را ارائه می‌دهند که برای سیستم‌های با راندمان بالا که تحت شرایط دمایی متغیر کار می‌کنند، ضروری است.
نمودار تفصیلی
