ویفر AlN-on-NPSS: لایه نیترید آلومینیومی با کارایی بالا بر روی بستر یاقوت کبود صیقلی نشده برای کاربردهای با دمای بالا، توان بالا و RF
ویژگی ها
لایه AlN با کارایی بالا: آلومینیوم نیترید (AlN) به دلیل آن شناخته شده استهدایت حرارتی بالا(~200 W/m·K)،شکاف باند وسیع، وولتاژ شکست بالا، آن را به یک ماده ایده آل برایبا قدرت بالا, فرکانس بالا، ودرجه حرارت بالابرنامه های کاربردی
بستر یاقوت کبود غیر پرداخت شده (NPSS): یاقوت کبود غیر صیقلی فراهم می کندمقرون به صرفه, از نظر مکانیکی قویپایه، تضمین یک پایه پایدار برای رشد اپیتاکسیال بدون پیچیدگی پرداخت سطح. خواص مکانیکی عالی NPSS آن را برای محیط های چالش برانگیز بادوام می کند.
پایداری حرارتی بالا: ویفر AlN-on-NPSS می تواند نوسانات شدید دما را تحمل کند و برای استفاده درالکترونیک قدرت, سیستم های خودرو, ال ای دی ها، وکاربردهای نوریکه نیاز به عملکرد پایدار در شرایط دمای بالا دارند.
عایق برق: AlN دارای خواص عایق الکتریکی عالی است که آن را برای کاربردهایی که در آن مناسب استعایق الکتریکیحیاتی است، از جملهدستگاه های RFوالکترونیک مایکروویو.
اتلاف حرارت برتر: با رسانایی حرارتی بالا، لایه AlN اتلاف گرمای موثر را تضمین می کند، که برای حفظ عملکرد و طول عمر دستگاه هایی که تحت توان و فرکانس بالا کار می کنند ضروری است.
پارامترهای فنی
| پارامتر | مشخصات |
| قطر ویفر | 2 اینچ، 4 اینچ (اندازه های سفارشی موجود است) |
| نوع بستر | بستر یاقوت کبود غیر پرداخت شده (NPSS) |
| ضخامت لایه AlN | 2μm تا 10μm (قابل تنظیم) |
| ضخامت بستر | 25 ± 430 میکرومتر (برای 2 اینچ)، 500 میکرومتر ± 25 میکرومتر (برای 4 اینچ) |
| هدایت حرارتی | 200 W/m·K |
| مقاومت الکتریکی | عایق بالا، مناسب برای کاربردهای RF |
| زبری سطح | Ra ≤ 0.5μm (برای لایه AlN) |
| خلوص مواد | AlN با خلوص بالا (99.9%) |
| رنگ | سفید/خاموش سفید (لایه AlN با بستر NPSS روشن) |
| تار ویفر | <30μm (معمولی) |
| نوع دوپینگ | بدون دوپ (قابل سفارشی سازی) |
برنامه های کاربردی
اینویفر AlN-on-NPSSبرای طیف گسترده ای از برنامه های کاربردی با کارایی بالا در چندین صنعت طراحی شده است:
الکترونیک پرقدرت: رسانایی حرارتی و خواص عایق بالای لایه AlN آن را به یک ماده ایده آل برایترانزیستورهای قدرت, یکسو کننده ها، وآی سی های برقاستفاده شده درخودرو, صنعتی، وانرژی های تجدید پذیرسیستم ها
اجزای فرکانس رادیویی (RF).: خواص عایق الکتریکی عالی AlN به همراه تلفات کم آن باعث تولیدترانزیستورهای RF, ترانزیستورهای HEMT (ترانزیستورهای با تحرک بالا)، و دیگراجزای مایکروویوکه در فرکانس ها و سطوح توان بالا به طور موثر عمل می کنند.
دستگاه های نوری: ویفرهای AlN-on-NPSS دردیودهای لیزر, ال ای دی ها، وآشکارسازهای نوری، جایی کههدایت حرارتی بالاواستحکام مکانیکیبرای حفظ عملکرد در طول عمر طولانی ضروری هستند.
سنسورهای دمای بالا: توانایی ویفر در تحمل گرمای شدید آن را مناسب برایسنسورهای دماونظارت بر محیط زیستدر صنایعی مانندهوافضا, خودرو، ونفت و گاز.
بسته بندی نیمه هادی: مورد استفاده در پخش کننده های حرارتیولایه های مدیریت حرارتیدر سیستم های بسته بندی، اطمینان از قابلیت اطمینان و کارایی نیمه هادی ها.
پرسش و پاسخ
س: مزیت اصلی ویفرهای AlN-on-NPSS نسبت به مواد سنتی مانند سیلیکون چیست؟
A: مزیت اصلی AlN استهدایت حرارتی بالا، که به آن اجازه می دهد گرما را به طور موثر دفع کند و آن را برای آن ایده آل می کندبا قدرت بالاوبرنامه های کاربردی با فرکانس بالاجایی که مدیریت گرما حیاتی است. علاوه بر این، AlN دارای یکشکاف باند وسیعو عالیعایق الکتریکی، آن را برای استفاده درRFودستگاه های مایکروویودر مقایسه با سیلیکون سنتی
س: آیا لایه AlN در ویفرهای NPSS قابل سفارشی سازی است؟
پاسخ: بله، لایه AlN را می توان از نظر ضخامت (از 2 میکرومتر تا 10 میکرومتر یا بیشتر) سفارشی کرد تا نیازهای خاص برنامه شما را برآورده کند. ما همچنین سفارشی سازی را از نظر نوع دوپینگ (نوع N یا نوع P) و لایه های اضافی برای عملکردهای تخصصی ارائه می دهیم.
س: کاربرد معمولی این ویفر در صنعت خودرو چیست؟
پاسخ: در صنعت خودرو، ویفرهای AlN-on-NPSS معمولاً در آنها استفاده می شودالکترونیک قدرت, سیستم های روشنایی LED، وسنسورهای دما. آنها مدیریت حرارتی و عایق الکتریکی عالی را ارائه می دهند که برای سیستم های با راندمان بالا که تحت شرایط دمایی متفاوت کار می کنند ضروری است.
نمودار تفصیلی
