ویفر SiC 8 اینچی درجه تولید، زیرلایه SiC 4H-N
جدول زیر مشخصات ویفرهای SiC 8 اینچی ما را نشان می‌دهد:
| مشخصات پردازنده سیگنال SiC از نوع N هشت اینچی | |||||
| شماره | مورد | واحد | تولید | تحقیق | آدمک |
| ۱: پارامترها | |||||
| ۱.۱ | پلی‌تایپ | -- | 4H | 4H | 4H |
| ۱.۲ | جهت گیری سطح | ° | <11-20>4 ± 0.5 | <11-20>4 ± 0.5 | <11-20>4 ± 0.5 |
| ۲: پارامتر الکتریکی | |||||
| ۲.۱ | دوپانت | -- | نیتروژن نوع n | نیتروژن نوع n | نیتروژن نوع n |
| ۲.۲ | مقاومت ویژه | اهم · سانتی‌متر | ۰.۰۱۵ تا ۰.۰۲۵ | 0.01~0.03 | NA |
| ۳: پارامتر مکانیکی | |||||
| ۳.۱ | قطر | mm | ۲۰۰±۰.۲ | ۲۰۰±۰.۲ | ۲۰۰±۰.۲ |
| ۳.۲ | ضخامت | میکرومتر | ۵۰۰±۲۵ | ۵۰۰±۲۵ | ۵۰۰±۲۵ |
| ۳.۳ | جهت گیری شکاف | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| ۳.۴ | عمق شیار | mm | ۱ تا ۱.۵ | ۱ تا ۱.۵ | ۱ تا ۱.۵ |
| ۳.۵ | LTV | میکرومتر | ≤5 (10 میلی‌متر * 10 میلی‌متر) | ≤5 (10 میلی‌متر * 10 میلی‌متر) | ≤10 (10 میلی‌متر * 10 میلی‌متر) |
| ۳.۶ | تی تی وی | میکرومتر | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| ۳.۷ | کمان | میکرومتر | -25~25 | ۴۵- تا ۴۵ | -65~65 |
| ۳.۸ | وارپ | میکرومتر | ≤30 | ۵۰≤ | ≤70 |
| ۳.۹ | ای اف ام | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| ۴: ساختار | |||||
| ۴.۱ | چگالی میکروپایپ | واحد بر سانتی‌متر مربع | ≤۲ | ≤10 | ۵۰≤ |
| ۴.۲ | محتوای فلزی | اتم/سانتی‌متر مربع | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| ۴.۳ | تی اس دی | واحد بر سانتی‌متر مربع | ۵۰۰≤ | ۱۰۰۰≤ | NA |
| ۴.۴ | بی پی دی | واحد بر سانتی‌متر مربع | ۲۰۰۰≤ | ۵۰۰۰≤ | NA |
| ۴.۵ | تد | واحد بر سانتی‌متر مربع | ۷۰۰۰≤ | ≤10000 | NA |
| کیفیت 5.Front | |||||
| ۵.۱ | جلو | -- | Si | Si | Si |
| ۵.۲ | پرداخت سطح | -- | سی-فیس CMP | سی-فیس CMP | سی-فیس CMP |
| ۵.۳ | ذره | ea/ویفر | ≤100 (اندازه ≥0.3μm) | NA | NA |
| ۵.۴ | خراش | ea/ویفر | ≤5، طول کل ≤200 میلی‌متر | NA | NA |
| ۵.۵ | لبه لب‌پریدگی/فرورفتگی/ترک/لکه/آلودگی | -- | هیچکدام | هیچکدام | NA |
| ۵.۶ | نواحی پلی‌تایپ | -- | هیچکدام | مساحت ≤10٪ | مساحت ≤30٪ |
| ۵.۷ | علامت گذاری جلو | -- | هیچکدام | هیچکدام | هیچکدام |
| ۶: کیفیت برگشت | |||||
| ۶.۱ | پایان پشتی | -- | سی فیس ام پی | سی فیس ام پی | سی فیس ام پی |
| ۶.۲ | خراش | mm | NA | NA | NA |
| ۶.۳ | لبه نقص پشتی تراشه‌ها/تورفتگی‌ها | -- | هیچکدام | هیچکدام | NA |
| ۶.۴ | زبری پشت | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| ۶.۵ | علامت گذاری به عقب | -- | شکاف | شکاف | شکاف |
| ۷: لبه | |||||
| ۷.۱ | لبه | -- | چمفر | چمفر | چمفر |
| ۸: بسته‌بندی | |||||
| ۸.۱ | بسته بندی | -- | آماده برای استفاده با وکیوم بسته بندی | آماده برای استفاده با وکیوم بسته بندی | آماده برای استفاده با وکیوم بسته بندی |
| ۸.۲ | بسته بندی | -- | چند ویفر بسته بندی کاست | چند ویفر بسته بندی کاست | چند ویفر بسته بندی کاست |
نمودار تفصیلی
پیام خود را اینجا بنویسید و برای ما ارسال کنید