ویفر 4H-N SiC درجه تولید 8 اینچ
جدول زیر مشخصات ویفرهای SiC 8 اینچی ما را نشان می دهد:
| مشخصات 8 اینچی SiC DSP نوع N | |||||
| شماره | مورد | واحد | تولید | تحقیق کنید | ساختگی |
| 1: پارامترها | |||||
| 1.1 | چند نوع | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | جهت گیری سطح | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: پارامتر الکتریکی | |||||
| 2.1 | ناخالص | -- | نیتروژن نوع n | نیتروژن نوع n | نیتروژن نوع n |
| 2.2 | مقاومت | اهم · سانتی متر | 0.015~0.025 | 0.01 ~ 0.03 | NA |
| 3: پارامتر مکانیکی | |||||
| 3.1 | قطر | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | ضخامت | میکرومتر | 25±500 | 25±500 | 25±500 |
| 3.3 | جهت بریدگی | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | عمق بریدگی | mm | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 | 1 ~ 1.5 |
| 3.5 | LTV | میکرومتر | ≤5 (10mm*10mm) | ≤5 (10mm*10mm) | ≤10 (10mm*10mm) |
| 3.6 | تی تی وی | میکرومتر | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | تعظیم | میکرومتر | -25 تا 25 | -45 تا 45 | -65 تا 65 |
| 3.8 | پیچ و تاب | میکرومتر | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: ساختار | |||||
| 4.1 | چگالی میکرولوله | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | محتوای فلزی | اتم/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | تد | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. کیفیت جلو | |||||
| 5.1 | جلو | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | پرداخت سطح | -- | سی فیس CMP | سی فیس CMP | سی فیس CMP |
| 5.3 | ذره | ea/ویفر | ≤100 (اندازه≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | خراش | ea/ویفر | ≤5، طول کل ≤200 میلی متر | NA | NA |
| 5.5 | لبه تراشه / فرورفتگی / ترک / لکه / آلودگی | -- | هیچ کدام | هیچ کدام | NA |
| 5.6 | نواحی پلی تایپ | -- | هیچ کدام | مساحت ≤10% | مساحت ≤30% |
| 5.7 | علامت گذاری جلو | -- | هیچ کدام | هیچ کدام | هیچ کدام |
| 6: کیفیت پشت | |||||
| 6.1 | پایان عقب | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | خراش | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | عیوب پشت لبه تراشه / تورفتگی | -- | هیچ کدام | هیچ کدام | NA |
| 6.4 | زبری پشت | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | علامت گذاری پشت | -- | شکاف | شکاف | شکاف |
| 7: لبه | |||||
| 7.1 | لبه | -- | چمفر | چمفر | چمفر |
| 8: بسته | |||||
| 8.1 | بسته بندی | -- | آماده اپی با وکیوم بسته بندی | آماده اپی با وکیوم بسته بندی | آماده اپی با وکیوم بسته بندی |
| 8.2 | بسته بندی | -- | چند ویفر بسته بندی کاست | چند ویفر بسته بندی کاست | چند ویفر بسته بندی کاست |
نمودار تفصیلی
پیام خود را اینجا بنویسید و برای ما ارسال کنید
