زیرلایه کامپوزیت SiC رسانای 6 اینچی با قطر 4H، قطر 150 میلی‌متر، Ra≤0.2nm، Warp≤35μm
پارامترهای فنی
| اقلام | تولیددرجه | آدمکدرجه |
| قطر | ۶-۸ اینچ | ۶-۸ اینچ |
| ضخامت | ۳۵۰/۵۰۰ ± ۲۵.۰ میکرومتر | ۳۵۰/۵۰۰ ± ۲۵.۰ میکرومتر |
| پلی‌تایپ | 4H | 4H |
| مقاومت ویژه | 0.015-0.025 اهم بر سانتی‌متر | 0.015-0.025 اهم بر سانتی‌متر |
| تی تی وی | ≤5 میکرومتر | ≤20 میکرومتر |
| وارپ | ≤35 میکرومتر | ≤55 میکرومتر |
| زبری سطح جلویی (Si-face) | Ra≤0.2 نانومتر (5μm×5μm) | Ra≤0.2 نانومتر (5μm×5μm) |
ویژگی‌های کلیدی
۱. مزیت هزینه: زیرلایه کامپوزیتی رسانای SiC با قطر ۶ اینچ ما از فناوری اختصاصی "لایه بافر درجه‌بندی‌شده" استفاده می‌کند که ترکیب مواد را بهینه می‌کند تا هزینه‌های مواد اولیه را تا ۳۸٪ کاهش دهد و در عین حال عملکرد الکتریکی عالی را حفظ کند. اندازه‌گیری‌های واقعی نشان می‌دهد که دستگاه‌های MOSFET 650 ولتی با استفاده از این زیرلایه، در مقایسه با راه‌حل‌های مرسوم، ۴۲٪ کاهش هزینه در واحد سطح را تجربه می‌کنند که برای ترویج پذیرش دستگاه‌های SiC در لوازم الکترونیکی مصرفی قابل توجه است.
۲. خواص رسانایی عالی: از طریق فرآیندهای دقیق کنترل آلایش نیتروژن، زیرلایه کامپوزیتی رسانای SiC 6 اینچی ما به مقاومت ویژه بسیار پایین 0.012-0.022Ω·cm دست می‌یابد، با تغییرات کنترل‌شده در محدوده ±5%. نکته قابل توجه این است که ما یکنواختی مقاومت را حتی در ناحیه لبه 5 میلی‌متری ویفر حفظ می‌کنیم و یک مشکل دیرینه اثر لبه در صنعت را حل می‌کنیم.
۳. عملکرد حرارتی: یک ماژول ۱۲۰۰ ولت/۵۰ آمپر که با استفاده از زیرلایه ما توسعه داده شده است، در حالت کارکرد با بار کامل، تنها ۴۵ درجه سانتیگراد افزایش دمای اتصال نسبت به دمای محیط نشان می‌دهد - ۶۵ درجه سانتیگراد کمتر از دستگاه‌های مشابه مبتنی بر سیلیکون. این امر به لطف ساختار کامپوزیتی "کانال حرارتی سه‌بعدی" ما امکان‌پذیر شده است که رسانایی حرارتی جانبی را به ۳۸۰ وات بر متر مکعب و رسانایی حرارتی عمودی را به ۲۹۰ وات بر متر مکعب بهبود می‌بخشد.
۴. سازگاری با فرآیند: برای ساختار منحصر به فرد زیرلایه‌های کامپوزیتی رسانای SiC با قطر ۶ اینچ، ما یک فرآیند برش لیزری مخفی منطبق با آن توسعه دادیم که به سرعت برش ۲۰۰ میلی‌متر بر ثانیه دست می‌یابد و در عین حال براده‌برداری لبه زیر ۰.۳ میکرومتر را کنترل می‌کند. علاوه بر این، ما گزینه‌های زیرلایه از پیش آبکاری شده با نیکل را ارائه می‌دهیم که امکان اتصال مستقیم قالب را فراهم می‌کند و دو مرحله فرآیند را برای مشتریان صرفه‌جویی می‌کند.
کاربردهای اصلی
تجهیزات حیاتی شبکه هوشمند:
در سیستم‌های انتقال جریان مستقیم با ولتاژ فوق بالا (UHVDC) که با ولتاژ ±800 کیلوولت کار می‌کنند، دستگاه‌های IGCT که از زیرلایه‌های کامپوزیتی SiC رسانای 6 اینچی ما استفاده می‌کنند، بهبودهای قابل توجهی در عملکرد نشان می‌دهند. این دستگاه‌ها در طول فرآیندهای کموتاسیون، 55٪ کاهش در تلفات سوئیچینگ را به دست می‌آورند، در حالی که راندمان کلی سیستم را به بیش از 99.2٪ افزایش می‌دهند. رسانایی حرارتی برتر زیرلایه‌ها (380 وات بر متر مکعب در کلوین) امکان طراحی مبدل‌های فشرده را فراهم می‌کند که در مقایسه با راه‌حل‌های مبتنی بر سیلیکون معمولی، 25٪ فضای اشغال شده توسط پست‌های برق را کاهش می‌دهند.
قوای محرکه خودروهای انرژی نو:
سیستم محرکه که شامل زیرلایه‌های کامپوزیتی رسانای SiC 6 اینچی ما است، به چگالی توان اینورتر بی‌سابقه 45 کیلووات بر لیتر دست می‌یابد - که 60 درصد بهبود نسبت به طراحی مبتنی بر سیلیکون 400 ولت قبلی آنها را نشان می‌دهد. از همه چشمگیرتر، این سیستم 98 درصد راندمان را در کل محدوده دمای عملیاتی از -40 درجه سانتیگراد تا +175 درجه سانتیگراد حفظ می‌کند و چالش‌های عملکرد در هوای سرد را که پذیرش خودروهای برقی در آب و هوای شمالی را مختل کرده است، حل می‌کند. آزمایش‌های دنیای واقعی افزایش 7.5 درصدی برد زمستانی را برای خودروهای مجهز به این فناوری نشان می‌دهد.
درایوهای فرکانس متغیر صنعتی:
استفاده از زیرلایه‌های ما در ماژول‌های قدرت هوشمند (IPM) برای سیستم‌های سروو صنعتی، اتوماسیون تولید را متحول می‌کند. در مراکز ماشینکاری CNC، این ماژول‌ها پاسخ موتور را 40٪ سریع‌تر ارائه می‌دهند (زمان شتاب را از 50 میلی‌ثانیه به 30 میلی‌ثانیه کاهش می‌دهند) و در عین حال نویز الکترومغناطیسی را از 15 دسی‌بل به 65 دسی‌بل (A) کاهش می‌دهند.
لوازم الکترونیکی مصرفی:
انقلاب لوازم الکترونیکی مصرفی با زیرلایه‌های ما که امکان شارژرهای سریع نسل بعدی ۶۵ واتی GaN را فراهم می‌کنند، ادامه می‌یابد. این آداپتورهای برق جمع و جور به لطف ویژگی‌های سوئیچینگ برتر طراحی‌های مبتنی بر SiC، ضمن حفظ توان خروجی کامل، به کاهش حجم ۳۰ درصدی (تا ۴۵ سانتی‌متر مکعب) دست می‌یابند. تصویربرداری حرارتی حداکثر دمای بدنه را در حین کار مداوم تنها ۶۸ درجه سانتیگراد نشان می‌دهد - ۲۲ درجه سانتیگراد خنک‌تر از طراحی‌های معمولی - که به طور قابل توجهی طول عمر و ایمنی محصول را بهبود می‌بخشد.
خدمات سفارشی‌سازی XKH
XKH پشتیبانی جامع سفارشی‌سازی برای زیرلایه‌های کامپوزیتی SiC رسانای 6 اینچی ارائه می‌دهد:
سفارشی‌سازی ضخامت: گزینه‌هایی شامل مشخصات ۲۰۰ میکرومتر، ۳۰۰ میکرومتر و ۳۵۰ میکرومتر
۲. کنترل مقاومت: غلظت آلایش نوع n قابل تنظیم از ۱×۱۰¹⁸ تا ۵×۱۰¹⁸ سانتی‌متر⁻³
۳. جهت‌گیری کریستال: پشتیبانی از جهت‌گیری‌های چندگانه شامل (۰۰۰۱) خارج از محور ۴ درجه یا ۸ درجه
۴. خدمات تست: گزارش‌های تست پارامترهای سطح ویفر کامل
زمان فعلی ما از نمونه‌سازی اولیه تا تولید انبوه می‌تواند به کوتاهی ۸ هفته باشد. برای مشتریان استراتژیک، ما خدمات توسعه فرآیند اختصاصی ارائه می‌دهیم تا تطابق کامل با نیازهای دستگاه تضمین شود.
