ویفر LNOI فیلم تک کریستال لیتیوم نیوبات 4 اینچی 6 اینچی
فرآیند آماده سازی مواد LNOI عمدتاً به چهار مرحله زیر تقسیم می شود
(1) یونهای او با انرژی معینی به ماده نیوبات لیتیوم برش X تزریق شد و در عمق معینی زیر لایه سطحی نیوبات لیتیوم به لایه نقص وارد شد.
(2) مواد لیتیوم نیوبات کاشته شده با یون به یک بستر سیلیکونی با یک لایه اکسید متصل می شود تا یک ساختار پیوند ایجاد کند.
(3) ساختار پیوند آنیل شد تا عیوب ایجاد شده توسط کاشت یون Hee تکامل یافته و برای تشکیل ترک‌ها جمع شوند. در نهایت، نیوبات لیتیوم در امتداد لایه نقص جدا شد تا برش‌های نیوبات لیتیوم و ویفرهای LNOI تشکیل شود.
کاربردها و مزایای ویفر LNOI
1- فیلم های پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات (LNOI) دارای ضریب پیزوالکتریک و ثابت دی الکتریک بالایی هستند که می توانند انرژی مکانیکی را به انرژی الکتریکی یا انرژی الکتریکی را به انرژی مکانیکی تبدیل کنند. از این رو در زمینه سنسورهایی مانند سنسورهای فشار، سنسورهای شتاب، سنسورهای دما و غیره کاربرد فراوانی دارد. علاوه بر این، فیلم پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات همچنین می تواند در دستگاه های صوتی و دستگاه های ارتعاشی مانند فیلتر پیزوالکتریک پیزوالکتریک پیچیده مبدل سرامیکی پیزوالکتریک استفاده شود.
2- پایداری فیلم پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات نیز از مزایای آن است. به دلیل ثبات ساختار کریستالی و بی اثری شیمیایی، فیلم پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات می تواند در دمای بالا، رطوبت بالا، اسید قوی، قلیایی قوی و سایر محیط های خشن، با مقاومت در برابر خوردگی و دوام خوب کار کند.
3- فیلم پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات یک ماده پیزوالکتریک جدید با عملکرد و پایداری عالی است و چشم انداز کاربرد گسترده ای دارد. با توسعه مداوم علم و فناوری، فیلم پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات در شهرهای بیشتری استفاده خواهد شد و راحتی و نوآوری بیشتری را در زندگی مردم به ارمغان می آورد.
نمودار تفصیلی
