ویفر LNOI تک کریستال فیلم لیتیوم نیوبات 4 اینچ و 6 اینچ
فرآیند آماده‌سازی مواد LNOI عمدتاً به چهار مرحله زیر تقسیم می‌شود:
(1) یون‌های He با انرژی مشخصی به ماده لیتیوم نیوبات با برش X تزریق شدند و در عمق مشخصی زیر لایه سطحی لیتیوم نیوبات به لایه نقص وارد شدند.
(2) ماده نیوبات لیتیوم کاشته شده با یون، با یک لایه اکسید به یک زیرلایه سیلیکونی متصل می‌شود تا یک ساختار پیوندی تشکیل دهد.
(3) ساختار پیوندی آنیل شد تا نقص‌های ایجاد شده توسط کاشت یون He تکامل یافته و جمع شوند و ترک ایجاد کنند. در نهایت، نیوبات لیتیوم در امتداد لایه نقص جدا شد تا برش‌های نیوبات لیتیوم باقیمانده و ویفرهای LNOI تشکیل شوند.
کاربردها و مزایای ویفر LNOI
۱-- لایه‌های پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات (LNOI) ضریب پیزوالکتریک و ثابت دی‌الکتریک بالایی دارند که می‌توانند انرژی مکانیکی را به انرژی الکتریکی یا انرژی الکتریکی را به انرژی مکانیکی تبدیل کنند. بنابراین، به طور گسترده در زمینه حسگرها مانند حسگرهای فشار، حسگرهای شتاب، حسگرهای دما و غیره استفاده می‌شود. علاوه بر این، لایه پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات همچنین می‌تواند در دستگاه‌های صوتی و دستگاه‌های ارتعاشی مانند مبدل سرامیکی پیزوالکتریک و فیلتر سرامیکی پیزوالکتریک پیچیده استفاده شود.
۲- پایداری لایه پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات نیز یکی از مزایای آن است. به دلیل پایداری ساختار کریستالی و بی‌اثر بودن شیمیایی، لایه پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات می‌تواند در دمای بالا، رطوبت بالا، اسید قوی، قلیای قوی و سایر محیط‌های خشن با مقاومت در برابر خوردگی و دوام خوب کار کند.
۳-لایه پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات یک ماده پیزوالکتریک جدید با عملکرد و پایداری عالی است و چشم‌انداز کاربرد گسترده‌ای دارد. با توسعه مداوم علم و فناوری، لایه پیزوالکتریک لیتیوم نیوبات در شهرهای بیشتری به کار گرفته خواهد شد و راحتی و نوآوری بیشتری را برای زندگی مردم به ارمغان می‌آورد.
نمودار تفصیلی
