ویفر یاقوت کبود 156 میلیمتری 159 میلیمتری 6 اینچی برای TTV حامل C-Plane DSP
مشخصات
مورد | ویفرهای یاقوت کبود 6 اینچی C-plane(0001). | |
مواد کریستالی | 99999٪، خلوص بالا، Al2O3 تک کریستالی | |
درجه | Prime، Epi-Ready | |
جهت گیری سطح | C-plane(0001) | |
صفحه C خارج از زاویه به سمت محور M 0.2 +/- 0.1 درجه | ||
قطر | 100.0 میلی متر +/- 0.1 میلی متر | |
ضخامت | 650 میکرومتر +/- 25 میکرومتر | |
جهت گیری مسطح اولیه | C-plane(00-01) +/- 0.2° | |
تک طرف پولیش | سطح جلو | Epi-polished، Ra < 0.2 نانومتر (توسط AFM) |
(SSP) | سطح پشت | زمین ریز، Ra = 0.8 میکرومتر تا 1.2 میکرومتر |
پولیش دو طرفه | سطح جلو | Epi-polished، Ra < 0.2 نانومتر (توسط AFM) |
(DSP) | سطح پشت | Epi-polished، Ra < 0.2 نانومتر (توسط AFM) |
تی تی وی | < 20 میکرومتر | |
تعظیم | < 20 میکرومتر | |
تاب | < 20 میکرومتر | |
تمیز کردن / بسته بندی | تمیز کردن اتاق تمیز و بسته بندی وکیوم کلاس 100، | |
25 عدد در بسته بندی یک کاست یا بسته بندی تک تکه. |
روش Kylopoulos (روش KY) در حال حاضر توسط بسیاری از شرکت ها در چین برای تولید کریستال های یاقوت کبود برای استفاده در صنایع الکترونیک و اپتیک استفاده می شود.
در این فرآیند، اکسید آلومینیوم با خلوص بالا در یک بوته در دمای بالاتر از 2100 درجه سانتیگراد ذوب می شود. معمولاً بوته از تنگستن یا مولیبدن ساخته می شود. یک کریستال دانه با جهت گیری دقیق در آلومینا مذاب غوطه ور می شود. کریستال دانه به آرامی به سمت بالا کشیده می شود و ممکن است به طور همزمان بچرخد. با کنترل دقیق گرادیان دما، سرعت کشش و سرعت خنکشدن، میتوان یک شمش بزرگ تک بلوری و تقریباً استوانهای از مذاب تولید کرد.
پس از رشد شمش های تک کریستال یاقوت کبود، آنها را در میله های استوانه ای سوراخ می کنند و سپس به ضخامت پنجره دلخواه بریده می شوند و در نهایت به سطح مورد نظر پرداخت می شوند.
نمودار تفصیلی
پیام خود را اینجا بنویسید و برای ما ارسال کنید