ویفر یاقوت کبود 6 اینچی 156 میلی‌متری 159 میلی‌متری برای DSP حامل C-Plane TTV
مشخصات
| مورد | ویفرهای یاقوت کبود 6 اینچی C-plane(0001) | |
| مواد کریستالی | ۹۹.۹۹۹٪، خلوص بالا، تک بلور Al2O3 | |
| درجه | پرایم، اپی-ردی | |
| جهت گیری سطح | هواپیمای C (0001) | |
| زاویه انحراف صفحه C به سمت محور M، 0.2 ± 0.1° | ||
| قطر | ۱۰۰.۰ میلی‌متر +/- ۰.۱ میلی‌متر | |
| ضخامت | ۶۵۰ میکرومتر +/- ۲۵ میکرومتر | |
| جهت گیری اولیه مسطح | صفحه C (00-01) +/- 0.2 درجه | |
| یک طرف جلا داده شده | سطح جلویی | صیقل داده شده با اپی‌پولیش، Ra < 0.2 nm (توسط AFM) |
| (اس اس پی) | سطح پشتی | زمین ریز، Ra = 0.8 میکرومتر تا 1.2 میکرومتر |
| دو طرف جلا داده شده | سطح جلویی | صیقل داده شده با اپی‌پولیش، Ra < 0.2 nm (توسط AFM) |
| (دی اس پی) | سطح پشتی | صیقل داده شده با اپی‌پولیش، Ra < 0.2 nm (توسط AFM) |
| تی تی وی | <20 میکرومتر | |
| بو | <20 میکرومتر | |
| وارپ | <20 میکرومتر | |
| تمیز کردن / بسته بندی | تمیز کردن اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ و بسته‌بندی وکیوم، | |
| ۲۵ عدد در بسته‌بندی یک کاست یا بسته‌بندی تکی. | ||
روش کیلوپولوس (روش KY) در حال حاضر توسط بسیاری از شرکت‌ها در چین برای تولید کریستال‌های یاقوت کبود جهت استفاده در صنایع الکترونیک و اپتیک مورد استفاده قرار می‌گیرد.
در این فرآیند، اکسید آلومینیوم با خلوص بالا در یک بوته در دمای بالاتر از ۲۱۰۰ درجه سانتیگراد ذوب می‌شود. معمولاً بوته از تنگستن یا مولیبدن ساخته می‌شود. یک کریستال دانه‌ای با جهت‌گیری دقیق در آلومینای مذاب غوطه‌ور می‌شود. کریستال دانه‌ای به آرامی به سمت بالا کشیده می‌شود و ممکن است همزمان چرخانده شود. با کنترل دقیق گرادیان دما، سرعت کشش و سرعت خنک‌کننده، می‌توان یک شمش بزرگ، تک کریستالی و تقریباً استوانه‌ای از مذاب تولید کرد.
پس از رشد شمش‌های یاقوت کبود تک کریستالی، آنها را به صورت میله‌های استوانه‌ای سوراخ می‌کنند، سپس این میله‌ها را به ضخامت پنجره مورد نظر برش می‌دهند و در نهایت تا رسیدن به سطح نهایی مطلوب، صیقل می‌دهند.
نمودار تفصیلی
