هنگام بررسی ویفرهای سیلیکونی نیمه‌هادی یا زیرلایه‌های ساخته شده از مواد دیگر، اغلب با شاخص‌های فنی مانند: TTV، BOW، WARP و احتمالاً TIR، STIR، LTV و موارد دیگر مواجه می‌شویم. اینها چه پارامترهایی را نشان می‌دهند؟
TTV — تغییر ضخامت کل
کمان - کمان
وارپ — وارپ
TIR — مجموع مقادیر نشان داده شده
STIR — مجموع مقادیر نشان داده شده در سایت
LTV — تغییرات ضخامت محلی
۱. تغییرات ضخامت کل — TTV
اختلاف بین حداکثر و حداقل ضخامت ویفر نسبت به صفحه مرجع، زمانی که ویفر در حالت گیره قرار گرفته و در تماس نزدیک است. این اختلاف عموماً بر حسب میکرومتر (μm) بیان می‌شود و اغلب به صورت زیر نمایش داده می‌شود: ≤15 μm.
۲. کمان — کمان
انحراف بین حداقل و حداکثر فاصله از نقطه مرکزی سطح ویفر تا صفحه مرجع، زمانی که ویفر در حالت آزاد (بدون گیره) قرار دارد. این شامل هر دو حالت مقعر (کمان منفی) و محدب (کمان مثبت) می‌شود. معمولاً بر حسب میکرومتر (μm) بیان می‌شود که اغلب به صورت زیر نمایش داده می‌شود: ≤40 μm.
۳. وارپ — وارپ
انحراف بین حداقل و حداکثر فاصله از سطح ویفر تا صفحه مرجع (معمولاً سطح پشتی ویفر) هنگامی که ویفر در حالت آزاد (بدون گیره) است. این شامل هر دو حالت مقعر (تاب منفی) و محدب (تاب مثبت) می‌شود. عموماً بر حسب میکرومتر (μm) بیان می‌شود که اغلب به صورت زیر نمایش داده می‌شود: ≤30 μm.
۴. مجموع مقادیر نشان داده شده — TIR
وقتی ویفر محکم و در تماس نزدیک با سطح ویفر قرار دارد، با استفاده از یک صفحه مرجع که مجموع تقاطع‌های تمام نقاط درون ناحیه کیفیت یا یک ناحیه محلی مشخص روی سطح ویفر را به حداقل می‌رساند، TIR انحراف بین حداکثر و حداقل فواصل از سطح ویفر تا این صفحه مرجع است.
شرکت XKH با تکیه بر تخصص عمیق در مشخصات مواد نیمه‌هادی مانند TTV، BOW، WARP و TIR، خدمات پردازش ویفر سفارشی دقیق متناسب با استانداردهای سختگیرانه صنعت را ارائه می‌دهد. ما طیف گسترده‌ای از مواد با کارایی بالا از جمله یاقوت کبود، کاربید سیلیکون (SiC)، ویفرهای سیلیکونی، SOI و کوارتز را تأمین و پشتیبانی می‌کنیم و از صافی، ضخامت و کیفیت سطح استثنایی برای کاربردهای پیشرفته در الکترونیک نوری، دستگاه‌های قدرت و MEMS اطمینان حاصل می‌کنیم. برای ارائه راه‌حل‌های قابل اعتماد در مورد مواد و ماشینکاری دقیق که مطابق با سخت‌گیرانه‌ترین نیازهای طراحی شما هستند، به ما اعتماد کنید.
زمان ارسال: ۲۹ آگوست ۲۰۲۵