با توسعه مداوم فناوری نیمه هادی، در صنعت نیمه هادی و حتی صنعت فتوولتائیک، الزامات برای کیفیت سطح بستر ویفر یا ورق همپایه نیز بسیار سخت است.بنابراین، شرایط کیفی ویفر چیست؟با در نظر گرفتن ویفرهای یاقوت کبود، از چه شاخص هایی می توان برای ارزیابی کیفیت سطح ویفرها استفاده کرد؟
شاخص های ارزیابی ویفر چیست؟
سه شاخص
برای ویفرهای یاقوت کبود، شاخص های ارزیابی آن عبارتند از انحراف ضخامت کل (TTV)، خمش (کمان) و تار (Warp).این سه پارامتر با هم منعکس کننده یکنواختی و ضخامت ویفر سیلیکونی هستند و می توانند درجه ریپل ویفر را اندازه گیری کنند.راه راه را می توان با صافی ترکیب کرد تا کیفیت سطح ویفر را ارزیابی کرد.
TTV، BOW، Warp چیست؟
TTV (تغییر ضخامت کل)
TTV تفاوت بین حداکثر و حداقل ضخامت یک ویفر است.این پارامتر یک شاخص مهم است که برای اندازه گیری یکنواختی ضخامت ویفر استفاده می شود.در فرآیند نیمه هادی، ضخامت ویفر باید در کل سطح بسیار یکنواخت باشد.اندازه گیری ها معمولاً در پنج نقطه روی ویفر انجام می شود و تفاوت محاسبه می شود.در نهایت، این مقدار مبنای مهمی برای قضاوت در مورد کیفیت ویفر است.
تعظیم
کمان در تولید نیمه هادی به خم شدن ویفر اشاره دارد که فاصله بین نقطه میانی ویفر بدون گیره و صفحه مرجع را آزاد می کند.این کلمه احتمالاً از توصیف شکل یک شی در هنگام خم شدن، مانند شکل خمیده یک کمان آمده است.مقدار Bow با اندازه گیری انحراف بین مرکز و لبه ویفر سیلیکونی تعریف می شود.این مقدار معمولاً در میکرومتر (µm) بیان می شود.
پیچ و تاب
Warp یک ویژگی جهانی ویفرها است که تفاوت بین حداکثر و حداقل فاصله بین وسط یک ویفر آزادانه بدون گیره و صفحه مرجع را اندازه گیری می کند.نشان دهنده فاصله از سطح ویفر سیلیکونی تا صفحه است.
تفاوت بین TTV، Bow، Warp چیست؟
TTV بر تغییرات ضخامت تمرکز می کند و به خم شدن یا اعوجاج ویفر توجهی ندارد.
کمان روی خم کلی تمرکز می کند، عمدتاً خم نقطه مرکزی و لبه را در نظر می گیرد.
Warp جامع تر است، از جمله خم شدن و پیچش کل سطح ویفر.
اگرچه این سه پارامتر مربوط به شکل و خواص هندسی ویفر سیلیکونی است، اما اندازه گیری و توصیف آنها متفاوت است و تأثیر آنها بر فرآیند نیمه هادی و پردازش ویفر نیز متفاوت است.
هرچه این سه پارامتر کوچکتر باشد، بهتر است و هر چه پارامتر بزرگتر باشد، تأثیر منفی بر فرآیند نیمه هادی بیشتر خواهد بود.بنابراین، به عنوان یک متخصص نیمه هادی، ما باید به اهمیت پارامترهای مشخصات ویفر برای کل فرآیند پی ببریم، فرآیند نیمه هادی را انجام دهیم، باید به جزئیات توجه کنیم.
(سانسور)
زمان ارسال: ژوئن-24-2024