مزیت هایاز طریق شیشه (TGV)و فرآیندهای Through Silicon Via (TSV) روی TGV عمدتاً عبارتند از:
(1) ویژگی های الکتریکی با فرکانس بالا عالی. ماده شیشه یک ماده عایق است، ثابت دی الکتریک تنها حدود 1/3 ماده سیلیکون است، و ضریب تلفات 2-3 مرتبه کمتر از مواد سیلیکونی است، که باعث می شود تلفات زیرلایه و اثرات انگلی بسیار کاهش یابد. و یکپارچگی سیگنال ارسالی را تضمین می کند.
(2)اندازه بزرگ و بستر شیشه ای بسیار نازکبه راحتی بدست می آید. Corning، Asahi و SCHOTT و دیگر تولیدکنندگان شیشه می‌توانند شیشه‌های پنلی با ابعاد بسیار بزرگ (> 2 متر × 2 متر) و شیشه‌های بسیار نازک (<50 میکرومتر) و مواد شیشه‌ای انعطاف‌پذیر فوق‌العاده نازک را ارائه دهند.
3) هزینه کم از دسترسی آسان به شیشه های پانل فوق نازک سایز بزرگ بهره مند شوید و نیازی به رسوب لایه های عایق ندارد، هزینه تولید صفحه آداپتور شیشه ای تنها حدود 1/8 صفحه آداپتور مبتنی بر سیلیکون است.
4) فرآیند ساده نیازی به گذاشتن لایه عایق روی سطح زیرلایه و دیواره داخلی TGV نیست و در صفحه آداپتور فوق نازک نیازی به نازک شدن نیست.
(5) پایداری مکانیکی قوی. حتی زمانی که ضخامت صفحه آداپتور کمتر از 100 میکرومتر باشد، تاب خوردگی همچنان کوچک است.
(6) طیف گسترده ای از کاربردها، یک فناوری اتصال طولی در حال ظهور است که در زمینه بسته بندی در سطح ویفر استفاده می شود، برای دستیابی به کوتاه ترین فاصله بین ویفر-ویفر، حداقل گام اتصال یک مسیر فناوری جدید، با برق عالی را فراهم می کند. ، حرارتی، خواص مکانیکی، در تراشه RF، سنسورهای MEMS پیشرفته، ادغام سیستم با چگالی بالا و سایر مناطق با مزایای منحصر به فرد، نسل بعدی تراشه 5G، 6G فرکانس بالا 3D است. یکی از اولین انتخاب ها برای بسته بندی سه بعدی تراشه های فرکانس بالا 5G و 6G نسل بعدی.
فرآیند قالب گیری TGV عمدتاً شامل سندبلاست، حفاری اولتراسونیک، حکاکی مرطوب، حکاکی یون واکنشی عمیق، حکاکی حساس به نور، حکاکی لیزری، حکاکی عمقی ناشی از لیزر و تشکیل سوراخ تخلیه متمرکز است.
نتایج تحقیق و توسعه اخیر نشان می دهد که این فناوری می تواند از طریق سوراخ ها و سوراخ های کور 5:1 با نسبت عمق به عرض 20:1 آماده شود و مورفولوژی خوبی داشته باشد. حکاکی عمیق ناشی از لیزر، که منجر به زبری سطح کوچک می شود، در حال حاضر بیشترین روش مطالعه شده است. همانطور که در شکل 1 نشان داده شده است، ترک های آشکاری در اطراف حفاری لیزری معمولی وجود دارد، در حالی که دیواره های اطراف و کناری حکاکی عمیق ناشی از لیزر تمیز و صاف هستند.
فرآیند پردازش ازTGVinterposer در شکل 2 نشان داده شده است. طرح کلی به این صورت است که ابتدا سوراخ هایی را روی بستر شیشه ای سوراخ کنید و سپس لایه مانع و لایه دانه را روی دیواره جانبی و سطح قرار دهید. لایه مانع از انتشار مس به زیرلایه شیشه ای جلوگیری می کند، در حالی که چسبندگی این دو را افزایش می دهد، البته در برخی مطالعات نیز مشخص شد که لایه مانع ضروری نیست. سپس مس با آبکاری الکتریکی رسوب می‌کند، سپس آنیل می‌شود و لایه مس توسط CMP حذف می‌شود. در نهایت لایه سیم کشی مجدد RDL توسط لیتوگرافی پوششی PVD تهیه می شود و پس از برداشتن چسب، لایه غیرفعال سازی تشکیل می شود.
(الف) تهیه ویفر، (ب) تشکیل TGV، (ج) آبکاری دو طرفه - رسوب مس، (د) بازپخت و پولیش شیمیایی-مکانیکی CMP، حذف لایه مس سطحی، (ه) پوشش PVD و لیتوگرافی ، (f) قرار دادن لایه سیم کشی مجدد RDL ، (g) چسب زدایی و اچینگ Cu/Ti ، (ح) تشکیل لایه غیرفعال سازی.
برای جمع بندی،سوراخ شیشه ای (TGV)چشم انداز کاربرد گسترده است و بازار داخلی فعلی در مرحله افزایش است، از تجهیزات گرفته تا طراحی محصول و نرخ رشد تحقیق و توسعه بالاتر از میانگین جهانی است.
اگر تخلفی وجود دارد، تماس را حذف کنید
زمان ارسال: ژوئیه-16-2024