بستر کاربید سیلیکون به دو نوع نیمه عایق و نوع رسانا تقسیم می شود. در حال حاضر، مشخصات اصلی محصولات زیرلایه کاربید سیلیکون نیمه عایق 4 اینچ است. در بازار کاربید سیلیکون رسانا، مشخصات محصول بستر اصلی فعلی 6 اینچ است.
به دلیل کاربردهای پایین دستی در زمینه RF، زیرلایه های SiC نیمه عایق و مواد همپایی تحت کنترل صادرات توسط وزارت بازرگانی ایالات متحده قرار دارند. SiC نیمه عایق به عنوان بستر، ماده ترجیحی برای هترواپیتاکسی GaN است و چشم‌اندازهای کاربردی مهمی در زمینه مایکروویو دارد. در مقایسه با عدم تطابق کریستالی یاقوت کبود 14% و Si 16.9%، عدم تطابق کریستالی مواد SiC و GaN تنها 3.4% است. همراه با هدایت حرارتی فوق‌العاده بالای SiC، دستگاه‌های مایکروویو با فرکانس بالا و توان بالا LED و GaN با راندمان بالا که توسط آن تهیه شده‌اند، مزایای زیادی در رادار، تجهیزات مایکروویو با قدرت بالا و سیستم‌های ارتباطی 5G دارند.
تحقیق و توسعه زیرلایه SiC نیمه عایق همواره مورد توجه تحقیق و توسعه بستر تک کریستال SiC بوده است. دو مشکل اصلی در رشد مواد SiC نیمه عایق وجود دارد:
1) ناخالصی های اهداکننده N وارد شده توسط بوته گرافیتی، جذب عایق حرارتی و دوپینگ در پودر را کاهش دهید.
2) ضمن اطمینان از کیفیت و خواص الکتریکی کریستال، یک مرکز سطح عمیق برای جبران ناخالصی های سطح کم عمق باقی مانده با فعالیت الکتریکی معرفی می شود.
در حال حاضر، تولیدکنندگان با ظرفیت تولید SiC نیمه عایق عمدتاً SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd هستند.
کریستال SiC رسانا با تزریق نیتروژن به اتمسفر در حال رشد به دست می آید. بستر کاربید سیلیکون رسانا به طور عمده در ساخت دستگاه های قدرت استفاده می شود، دستگاه های قدرت کاربید سیلیکون با ولتاژ بالا، جریان بالا، دمای بالا، فرکانس بالا، تلفات کم و سایر مزایای منحصر به فرد، استفاده موجود از انرژی دستگاه های برق مبتنی بر سیلیکون را تا حد زیادی بهبود می بخشد. راندمان تبدیل، تأثیر قابل توجه و گسترده ای در زمینه تبدیل انرژی کارآمد دارد. زمینه های اصلی کاربرد وسایل نقلیه الکتریکی/شمع های شارژ، انرژی جدید فتوولتائیک، حمل و نقل ریلی، شبکه هوشمند و غیره است. از آنجایی که پایین دست محصولات رسانا عمدتاً دستگاه‌های نیرو در وسایل نقلیه الکتریکی، فتوولتائیک و سایر زمینه‌ها هستند، چشم‌انداز کاربرد گسترده‌تر است و تعداد تولیدکنندگان بیشتر است.
نوع کریستال کاربید سیلیکون: ساختار معمولی بهترین کاربید سیلیکون کریستالی 4H را می توان به دو دسته تقسیم کرد، یکی از نوع کریستالی کاربید سیلیکون مکعبی از ساختار اسفالریت، معروف به 3C-SiC یا β-SiC، و دیگری شش ضلعی است. یا ساختار الماس ساختار دوره بزرگ، که نمونه 6H-SiC، 4H-sic است، 15R-SiC و غیره که در مجموع به عنوان α-SiC شناخته می شوند. 3C-SiC از مزیت مقاومت بالا در ساخت دستگاه ها برخوردار است. با این حال، عدم تطابق زیاد بین ثابت های شبکه Si و SiC و ضرایب انبساط حرارتی می تواند منجر به تعداد زیادی نقص در لایه اپیتاکسیال 3C-SiC شود. 4H-SiC پتانسیل زیادی در ساخت ماسفت ها دارد، زیرا رشد کریستال و فرآیندهای رشد لایه همپایی آن عالی تر است و از نظر تحرک الکترون، 4H-SiC بالاتر از 3C-SiC و 6H-SiC است و ویژگی های مایکروویو بهتری برای 4H ارائه می دهد. ماسفت های SiC
اگر تخلفی وجود دارد، تماس را حذف کنید
زمان ارسال: ژوئیه-16-2024