ویفر شیشه‌ای BF33، زیرلایه بوروسیلیکات پیشرفته، ۲ اینچ، ۴ اینچ، ۶ اینچ، ۸ اینچ، ۱۲ اینچ
نمودار تفصیلی
نمای کلی ویفر شیشه‌ای BF33
ویفر شیشه‌ای BF33 که با نام تجاری BOROFLOAT 33 در سطح بین‌المللی شناخته می‌شود، یک شیشه فلوت بوروسیلیکات درجه یک است که توسط SCHOTT با استفاده از روش تولید میکروفلوت تخصصی مهندسی شده است. این فرآیند تولید، ورق‌های شیشه‌ای با ضخامت فوق‌العاده یکنواخت، صافی سطح عالی، حداقل زبری میکرو و شفافیت نوری فوق‌العاده ارائه می‌دهد.
یکی از ویژگی‌های متمایز BF33 ضریب انبساط حرارتی (CTE) پایین آن تقریباً 3.3 × 10 است.-6 K-1این ویژگی، آن را به گزینه‌ای ایده‌آل برای زیرلایه‌های سیلیکونی تبدیل می‌کند. این ویژگی، امکان ادغام بدون تنش در دستگاه‌های میکروالکترونیک، MEMS و اپتوالکترونیک را فراهم می‌کند.
ترکیب مواد ویفر شیشه‌ای BF33
BF33 متعلق به خانواده شیشه‌های بوروسیلیکات است و حاوی بیش از۸۰٪ سیلیس (SiO2)، در کنار اکسید بور (B2O3)، اکسیدهای قلیایی و مقادیر ناچیزی از اکسید آلومینیوم. این فرمولاسیون موارد زیر را فراهم می‌کند:
-
چگالی کمتردر مقایسه با شیشه سودا-لایم، وزن کلی اجزا را کاهش می‌دهد.
-
کاهش محتوای قلیاییبه حداقل رساندن نشت یون در سیستم‌های حساس تحلیلی یا زیست‌پزشکی.
-
مقاومت بهبود یافتهدر برابر حمله شیمیایی اسیدها، قلیاها و حلال‌های آلی.
فرآیند تولید ویفر شیشه‌ای BF33
ویفرهای شیشه‌ای BF33 از طریق یک سری مراحل کنترل‌شده دقیق تولید می‌شوند. ابتدا، مواد اولیه با خلوص بالا - عمدتاً سیلیس، اکسید بور و مقادیر کمی اکسیدهای قلیایی و آلومینیوم - به طور دقیق وزن و مخلوط می‌شوند. این دسته در دماهای بالا ذوب شده و برای از بین بردن حباب‌ها و ناخالصی‌ها تصفیه می‌شوند. با استفاده از فرآیند میکروفلوت، شیشه مذاب روی قلع مذاب جریان می‌یابد تا ورق‌های بسیار صاف و یکنواخت تشکیل شود. این ورق‌ها به آرامی آنیل می‌شوند تا تنش داخلی کاهش یابد، سپس به صفحات مستطیلی برش داده می‌شوند و سپس به صورت ویفرهای گرد درمی‌آیند. لبه‌های ویفر برای دوام بیشتر، پخ زده یا شیاردار می‌شوند و پس از آن، صیقل‌کاری دقیق و پرداخت دو طرفه برای دستیابی به سطوح فوق‌العاده صاف انجام می‌شود. پس از تمیزکاری اولتراسونیک در یک اتاق تمیز، هر ویفر تحت بازرسی دقیق از نظر ابعاد، صافی، کیفیت نوری و عیوب سطحی قرار می‌گیرد. در نهایت، ویفرها در ظروف عاری از آلودگی بسته‌بندی می‌شوند تا از حفظ کیفیت تا زمان استفاده اطمینان حاصل شود.
خواص مکانیکی ویفر شیشه‌ای BF33
| محصول | بوروفلوت ۳۳ |
| تراکم | ۲.۲۳ گرم بر سانتی‌متر مکعب |
| مدول الاستیسیته | ۶۳ کیلونیوتن بر میلی‌متر مربع |
| سختی Knoop HK 0.1/20 | ۴۸۰ |
| نسبت پواسون | ۰.۲ |
| ثابت دی الکتریک (@ 1 مگاهرتز و 25 درجه سانتیگراد) | ۴.۶ |
| تانژانت تلفات (@ 1 مگاهرتز و 25 درجه سانتیگراد) | ۳۷ × ۱۰-۴ |
| قدرت دی الکتریک (در فرکانس ۵۰ هرتز و ۲۵ درجه سانتیگراد) | ۱۶ کیلوولت بر میلی‌متر |
| ضریب شکست | ۱.۴۷۲ |
| پراکندگی (nF - nC) | ۷۱.۹ × ۱۰-۴ |
سوالات متداول در مورد ویفر شیشه‌ای BF33
شیشه BF33 چیست؟
BF33 که BOROFLOAT® 33 نیز نامیده می‌شود، یک شیشه فلوت بوروسیلیکات مرغوب است که توسط SCHOTT با استفاده از فرآیند میکروفلوت تولید می‌شود. این شیشه انبساط حرارتی کم (~3.3 × 10⁻⁶ K⁻¹)، مقاومت در برابر شوک حرارتی عالی، وضوح نوری بالا و دوام شیمیایی فوق‌العاده‌ای دارد.
شیشه BF33 چه تفاوتی با شیشه معمولی دارد؟
در مقایسه با شیشه سودالایم، BF33:
-
ضریب انبساط حرارتی بسیار پایین‌تری دارد و تنش ناشی از تغییرات دما را کاهش می‌دهد.
-
از نظر شیمیایی در برابر اسیدها، قلیاها و حلال‌ها مقاوم‌تر است.
-
انتقال UV و IR بالاتری را ارائه می‌دهد.
-
مقاومت مکانیکی و مقاومت در برابر خراش بهتری را فراهم می‌کند.
چرا از BF33 در کاربردهای نیمه‌هادی و MEMS استفاده می‌شود؟
انبساط حرارتی آن کاملاً با سیلیکون مطابقت دارد و آن را برای پیوند آندی و میکروساخت ایده‌آل می‌کند. دوام شیمیایی آن همچنین به آن اجازه می‌دهد تا فرآیندهای حکاکی، تمیزکاری و دمای بالا را بدون تخریب تحمل کند.
آیا BF33 می‌تواند در برابر دماهای بالا مقاومت کند؟
-
استفاده مداوم: تا حدود ۴۵۰ درجه سانتیگراد
-
قرار گرفتن در معرض کوتاه مدت (≤ 10 ساعت): تا حدود 500 درجه سانتیگراد
CTE پایین آن همچنین مقاومت بسیار خوبی در برابر تغییرات حرارتی سریع ایجاد می‌کند.
درباره ما
شرکت XKH در زمینه توسعه، تولید و فروش شیشه‌های نوری ویژه و مواد کریستالی جدید با فناوری پیشرفته تخصص دارد. محصولات ما در زمینه الکترونیک نوری، لوازم الکترونیکی مصرفی و نظامی کاربرد دارند. ما قطعات نوری یاقوت کبود، پوشش‌های لنز تلفن همراه، سرامیک، LT، سیلیکون کاربید SIC، کوارتز و ویفرهای کریستالی نیمه‌هادی ارائه می‌دهیم. با تخصص ماهرانه و تجهیزات پیشرفته، ما در پردازش محصولات غیر استاندارد سرآمد هستیم و هدفمان تبدیل شدن به یک شرکت پیشرو در زمینه مواد نوری-الکترونیکی با فناوری پیشرفته است.
