ویفر یاقوت کبود ۱۲ اینچی برای تولید نیمههادی با حجم بالا
نمودار تفصیلی
معرفی ویفر یاقوت کبود ۱۲ اینچی
ویفر یاقوت کبود ۱۲ اینچی برای پاسخگویی به تقاضای رو به رشد برای تولید نیمههادیها و اپتوالکترونیک با مساحت زیاد و توان عملیاتی بالا طراحی شده است. با افزایش مقیاس معماری دستگاهها و حرکت خطوط تولید به سمت قالبهای ویفر بزرگتر، زیرلایههای یاقوت کبود با قطرهای بسیار بزرگ مزایای آشکاری در بهرهوری، بهینهسازی عملکرد و کنترل هزینه ارائه میدهند.
ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی ما که از تک کریستال Al₂O₃ با خلوص بالا ساخته شدهاند، استحکام مکانیکی عالی، پایداری حرارتی و کیفیت سطح را با هم ترکیب میکنند. این زیرلایهها از طریق رشد کریستال بهینه شده و پردازش دقیق ویفر، عملکرد قابل اعتمادی را برای کاربردهای پیشرفته LED، GaN و نیمههادیهای ویژه ارائه میدهند.
مشخصات مواد
یاقوت کبود (اکسید آلومینیوم تک بلوری، Al₂O₃) به دلیل خواص فیزیکی و شیمیایی برجستهاش بسیار شناخته شده است. ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی تمام مزایای یاقوت کبود را به ارث میبرند و در عین حال سطح قابل استفاده بسیار بیشتری را ارائه میدهند.
ویژگیهای کلیدی مواد عبارتند از:
-
سختی و مقاومت سایشی بسیار بالا
-
پایداری حرارتی عالی و نقطه ذوب بالا
-
مقاومت شیمیایی برتر در برابر اسیدها و قلیاها
-
شفافیت نوری بالا از طول موجهای UV تا IR
-
خواص عایق الکتریکی عالی
این ویژگیها، ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی را برای محیطهای پردازش سخت و فرآیندهای تولید نیمههادی با دمای بالا مناسب میکند.
فرآیند تولید
تولید ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی نیاز به فناوریهای پیشرفته رشد کریستال و پردازش فوقالعاده دقیق دارد. فرآیند تولید معمول شامل موارد زیر است:
-
رشد تک کریستال
کریستالهای یاقوت کبود با خلوص بالا با استفاده از روشهای پیشرفتهای مانند KY یا سایر فناوریهای رشد کریستال با قطر بزرگ رشد داده میشوند و جهتگیری یکنواخت کریستال و تنش داخلی کم را تضمین میکنند. -
شکلدهی و برش کریستال
شمش یاقوت کبود با دقت شکل داده شده و با استفاده از تجهیزات برش با دقت بالا به ویفرهای ۱۲ اینچی برش داده میشود تا آسیبهای زیرسطحی به حداقل برسد. -
لپینگ و پولیش
برای دستیابی به زبری سطح عالی، صافی و یکنواختی ضخامت، از فرآیندهای صیقلکاری چند مرحلهای و پرداخت مکانیکی شیمیایی (CMP) استفاده میشود. -
تمیز کردن و بازرسی
هر ویفر یاقوت کبود ۱۲ اینچی تحت تمیزکاری کامل و بازرسی دقیق، از جمله کیفیت سطح، TTV، کمان، تاب و تجزیه و تحلیل نقص قرار میگیرد.
کاربردها
ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی به طور گسترده در فناوریهای پیشرفته و نوظهور استفاده میشوند، از جمله:
-
زیرلایههای LED با توان و روشنایی بالا
-
دستگاههای قدرت مبتنی بر GaN و دستگاههای RF
-
حامل تجهیزات نیمههادی و زیرلایههای عایق
-
پنجرههای نوری و اجزای نوری با مساحت بزرگ
-
بستهبندی نیمههادی پیشرفته و حاملهای فرآیند ویژه
قطر بزرگ، توان عملیاتی بالاتر و بهرهوری هزینه بهبود یافته را در تولید انبوه امکانپذیر میسازد.
مزایای ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی
-
مساحت قابل استفاده بزرگتر برای خروجی دستگاه بالاتر در هر ویفر
-
بهبود ثبات و یکنواختی فرآیند
-
کاهش هزینه به ازای هر دستگاه در تولید با حجم بالا
-
استحکام مکانیکی عالی برای جابجایی در اندازههای بزرگ
-
مشخصات قابل تنظیم برای کاربردهای مختلف
گزینههای سفارشیسازی
ما سفارشیسازی انعطافپذیری را برای ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی ارائه میدهیم، از جمله:
-
جهتگیری کریستال (صفحه C، صفحه A، صفحه R و غیره)
-
تحمل ضخامت و قطر
-
پرداخت یک طرفه یا دو طرفه
-
طراحی پروفیل لبه و پخ
-
الزامات زبری و صافی سطح
| پارامتر | مشخصات | یادداشتها |
|---|---|---|
| قطر ویفر | ۱۲ اینچ (۳۰۰ میلیمتر) | ویفر استاندارد با قطر بزرگ |
| مواد | یاقوت کبود تک بلور (Al₂O₃) | خلوص بالا، گرید الکترونیکی/نوری |
| جهت گیری کریستال | صفحه C (0001)، صفحه A (11-20)، صفحه R (1-102) | جهت گیری های اختیاری موجود است |
| ضخامت | ۴۳۰–۵۰۰ میکرومتر | ضخامت سفارشی بنا به درخواست موجود است |
| تحمل ضخامت | ±10 میکرومتر | تحمل کم برای دستگاههای پیشرفته |
| تغییر ضخامت کل (TTV) | ≤10 میکرومتر | پردازش یکنواخت در سراسر ویفر را تضمین میکند |
| کمان | ≤50 میکرومتر | اندازهگیری شده در کل ویفر |
| وارپ | ≤50 میکرومتر | اندازهگیری شده در کل ویفر |
| پرداخت سطح | صیقلکاری یکطرفه (SSP) / صیقلکاری دوطرفه (DSP) | سطح با کیفیت نوری بالا |
| زبری سطح (Ra) | ≤0.5 نانومتر (صیقلی شده) | صافی سطح اتمی برای رشد اپیتاکسیال |
| پروفیل لبه | لبه پخ دار / گرد | برای جلوگیری از ترک خوردن در حین جابجایی |
| دقت جهت گیری | ±0.5 درجه | رشد مناسب لایه اپیتاکسیال را تضمین میکند |
| تراکم نقص | <10 سانتیمتر مربع | اندازهگیری شده با بازرسی نوری |
| صافی | ≤2 میکرومتر / 100 میلیمتر | لیتوگرافی یکنواخت و رشد اپیتکسیال را تضمین میکند |
| پاکیزگی | کلاس ۱۰۰ – کلاس ۱۰۰۰ | سازگار با اتاق تمیز |
| انتقال نوری | >85% (فرابنفش-مادون قرمز) | بستگی به طول موج و ضخامت دارد |
سوالات متداول در مورد ویفر یاقوت کبود ۱۲ اینچی
Q1: ضخامت استاندارد ویفر یاقوت کبود 12 اینچی چقدر است؟
الف) ضخامت استاندارد از ۴۳۰ میکرومتر تا ۵۰۰ میکرومتر متغیر است. ضخامتهای سفارشی نیز میتوانند بر اساس نیاز مشتری تولید شوند.
س2: چه جهتگیریهای کریستالی برای ویفرهای یاقوت کبود 12 اینچی موجود است؟
الف) ما جهتگیریهای صفحه C (0001)، صفحه A (11-20) و صفحه R (1-102) را ارائه میدهیم. سایر جهتگیریها را میتوان بر اساس نیازهای خاص دستگاه سفارشیسازی کرد.
Q3: تغییرات ضخامت کل (TTV) ویفر چقدر است؟
الف) ویفرهای یاقوت کبود ۱۲ اینچی ما معمولاً TTV ≤10 میکرومتر دارند که یکنواختی را در کل سطح ویفر برای ساخت دستگاه با کیفیت بالا تضمین میکند.
درباره ما
شرکت XKH در زمینه توسعه، تولید و فروش شیشههای نوری ویژه و مواد کریستالی جدید با فناوری پیشرفته تخصص دارد. محصولات ما در حوزه الکترونیک نوری، لوازم الکترونیکی مصرفی و نظامی کاربرد دارند. ما قطعات نوری یاقوت کبود، پوشش لنز تلفن همراه، سرامیک، LT، سیلیکون کاربید SIC، کوارتز و ویفرهای کریستالی نیمههادی ارائه میدهیم. با تخصص ماهرانه و تجهیزات پیشرفته، ما در پردازش محصولات غیر استاندارد سرآمد هستیم و قصد داریم به یک شرکت پیشرو در زمینه مواد نوری-الکترونیکی با فناوری پیشرفته تبدیل شویم.
